中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293816021 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8Sは、半導体アセンブリプロセスで使用される高度なロボット拡散炉およびアクセサリシステムです。集積回路製造の基板作製段階では、ウエハー上にヒ素、リン、ホウ素、ガリウムなどの交流ドーパントの薄層を作成するために使用されます。この炉には独自のサイクリングシステムが装備されており、いつでも最大4つの異なるドープされたウェーハを保持し、拡散プロセスのスラリーまたは蒸気相を介してこれらのウェーハを循環させることができます。これにより、最高品質を維持しつつ、より高いスループットとサイクルタイムを向上させることができます。TEL ALPHA-8Sは、自動コンベアの積み下ろしシステムも備えています。これにより、ウェーハを迅速かつ効率的にチャンバーに持ち込み、ベーキング用のバスケットに保管し、定義済みのトレイに積み込み、拡散処理し、トレイからアンロードし、チャンバーから持ち出すなどの一連の手順を実行できます。また、東京エレクトロンアルファ8 Sには、フレキシブルな加熱・冷却サイクルが可能な真空容器が搭載されています。その安全システムには、サイクル内の障害や故障を検出するトリプルゾーンの排気モニター、劣った層が形成された場合の自動シャットオフ、チャンバーの外で動きが検出された場合に拡散プロセスを遮断するモーションセンサーが含まれます。TEL ALPHA-8 Sは強力で信頼性の高い拡散炉とアクセサリーシステムです。複数のウエハを保持し、サイクル時間を低く保ち、拡散プロセスに安全な環境を提供することができるため、あらゆる生産ラインに最適なツールです。また、バッチ処理や超薄層への対応など、様々なオプション機能を備えた高度なカスタマイズが可能です。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 Sは、拡散プロセスを正確に制御することで、品質を損なうことなく、生産ラインを最大容量近くに確保します。