中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293814783 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8Sは、高性能な拡散炉とアクセサリーです。ウェーハの最高かつ正確な加熱と冷却を提供し、研究開発や量産に役立ちます。それは理想的な大気の4つまでのプロセス部屋が付いているヒーター湾、高真空の前処理の部屋を特色にします。超小型電子部品の加工や生産、基板の汎用性の高いプロセスなどのニーズに応えるよう設計されています。TEL ALPHA-8S拡散炉のヒーターベイは、暖房と冷却のフルレンジを可能にするように設計されています。それは独立して監視し、調節することができる複数の温度帯を特色にします。ヒーターベイ内の環境も高度な気流とパージシステムで高度に制御されています。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 Sは、0。1°Cの精度で調整できる高精度な温度範囲を備えています。これにより、チャンバー全体の温度分布が均一になり、プロセス制御が正確になります。TEL ALPHA 8 S拡散炉の前処理室には、先進の高真空装置が組み込まれています。これにより、超高精度のリソグラフィと蒸着プロセスが可能となり、優れた結果を得ることができます。真空環境はまた、オーブン周囲の均質性を高めます。プロセスチャンバーは、シリーズまたは並列に最大4つのプロセスチャンバーで構成でき、究極の利便性と柔軟性を確保できます。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S拡散炉は安全性を念頭に設計されています。オンボードの消火システムと過電流保護を備えています。拡散炉とその付属品の動作ユニットは、WindowsとMacの両方のオペレーティングシステムと互換性があります。また、セルフテストおよび管理されたトラブルシューティングシミュレーションマシンも含まれています。ALPHA-8 S拡散炉は、高温範囲、高度な気流、およびプロセスチャンバーのために精密プロセスを実行するための究極の選択肢です。安全機能と操作ツールは包括的で、セルフテストと管理されたトラブルシューティングが含まれているため、この資産は研究開発と生産のニーズに最適です。
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