中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293814781 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8Sは、エッチング、乾燥、熱供給プロセスの効率を最適化するために設計されたハイエンド拡散炉とアクセサリーセットです。二重側加熱構造を採用し、高精度で均一な加熱を実現しています。さらに、統合された液体窒素冷蔵庫は、ウェーハの積み降ろし時間を最小限に抑え、中断のない操作を可能にします。半導体ウェーハ製造、ナノ加工、太陽電池製造など幅広い用途に適した最先端ユニットです。TEL ALPHA-8Sには、生産プロセスを強化するために設計されたさまざまな機能が含まれています。これは、均一なエッチングを保証するパルスプレートタイプシャワープレートと、プロセスパラメータに合わせて電子的に構成することができる6軸ステージドライブ装置を装備しています。垂直調整可能な冷却板もあり、ユーザーにさらに柔軟性を提供します。また、ガスインジェクタ、イオナイザー、ガスフローメータなどのガス制御部品を多数搭載しており、プロセスの正確な調整が容易です。東京エレクトロンALPHA 8 Sのチャンバーには、グラファイトベースのシーリング構造、液体窒素絶縁、高性能絶縁板などの高度な断熱・冷却機構が搭載されています。また、ソリッドステート投影イオンソース（PADタイプ）を搭載し、正確なイオンビーム爆撃制御と、エッチングチャンバー内の不要な粒子や不純物を排除するクリーニングユニットを内蔵しています。TOKYO ELECTRON ALPHA-8Sの最も印象的な特徴は、ヒューマンマシンインタフェース（HMI）です。この高度で直感的なユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスにより、マシンのパラメータを簡単に操作でき、ユーザーは所望の結果を得るためにプロセスをすばやく調整することができます。このHMIには「Smart Process」技術も搭載されており、ユーザーは最適なエッチングパラメータを再現し、将来の使用のために保存することができます。全体として、ALPHA-8 Sはエッチング、乾燥、および熱支援された沈殿プロセスのための信頼でき、ユーザーフレンドリーな解決を求める人々のための理想的な選択です。その堅牢なデザイン、先進的な機能、包括的なHMIにより、新規参入者と経験豊富なエッチング技術者の両方にとって魅力的なオプションとなります。