中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293814163 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8Sは、幅広い薄膜成膜用途向けに設計された最先端の拡散炉です。パワフルで汎用性の高いツールにするために慎重に設計された先進的なアクセサリーとコンポーネントのスイートを備えています。TEL ALPHA-8Sには、2つの異なる電子サイクロトロン共鳴（ECR）励起源が装備されており、フィルムの均質性と均一な蒸着を向上させます。RF電源は、高い精度と安定性を維持しながら、たくさんの電力を供給することができます。マグネットアセンブリはユニークなデザインで、非常に強力で連続的な磁場を生成することができます。これらの機能を組み合わせることで、広範囲の周波数にわたってユーザーが制御する処理が可能になります。この拡散炉には、蒸着プロセスの品質を向上させるためのさまざまな機能も含まれています。温度センサにより、基板の温度を高精度かつ高速に検出できます。温度調節器は均一な均一な沈殿のために熱が均等に配られることを保障します。ガス入力は、完璧な結果を得るために必要な基板に必要な正確な環境を作り出すように設計されています。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 Sは、堅牢な自動レシピ管理システムにより、ほとんどの拡散炉を上回っています。プログラミングを容易にし、特定のレシピやカスタマイズされた基板を数秒で呼び出すことができます。内蔵のアクティブガスパージングシステムは、クロス汚染を排除し、基板損傷につながる可能性のある副作用のリスクを低減するのに役立ちます。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8Sには、運転中にガス漏れが発生した場合にアラームが鳴る「リークチェックモニター」などの安全機能も追加されています。さらに、炉のセラミック発熱体は耐熱性が高く、その結果、交換を必要とせずに長期間にわたって実行することができます。ALPHA 8 Sは信頼できる拡散炉および付属品を捜すあらゆる生産か研究環境のための完全な解決です。その広範囲な機能により、正確で効率的で安全な薄膜蒸着が可能です。