中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293811685 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8Sは、高品質のシリコンウェーハの製造を容易にするために特別に設計された拡散炉およびアクセサリ機器です。TEL ALPHA-8Sは、高度な拡散プロセスを使用して、高いアルミニウム伝導率の領域を形成するだけでなく、低抵抗率の領域を形成し、デバイス製造時のより良い、より正確な応力制御を可能にします。その後、拡散プロセスに続いて、基板上の精密な層で定義された材料のエピタキシー成長のための高温動作が行われます。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 Sは急速冷却システムを採用しており、プロセスの迅速な終了を可能にし、生産速度を向上させます。ALPHA-8 Sは、高度な過渡加熱電源とフローモンユニットにより、正確な加熱および冷却電力を提供します。高度な加熱電源は精密な高温制御が可能であり、高い精度でプロセスを制御し、安全に監視することができます。Flowmonマシンは、高度な強制流動技術を使用して、正確かつ制御された温度範囲内でウェーハを冷却し、ウェーハ表面全体を均一に冷却し、歩留まり率を向上させます。TEL Alpha 8Sは、耐久性のあるステンレス鋼とアルミニウムのチャンバーで構成されており、最大限の安全性を提供するために密封されています。このチャンバーにはガスフローツールが装備されており、製造プロセス全体にわたって正確で一貫したガス制御が可能であり、均一性の向上と漏れ率の低減を実現します。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8Sの高度な強制流量アセットと全体的な設計により、ウェーハ製造時の粒子排出量の低減と内部制御が可能です。TEL ALPHA-8 Sは、マルチプレクサモデル、窒素パージ機能、ウェーハ転送ハードウェア、ウェハロットIDリーダー、生産データレコーダーなど、多くのアクセサリを搭載しています。マルチプレクサ装置は非常に効率的であり、プロセス内の値を自動的に調整するように設計されています。窒素パージングシステムは、窒素でチャンバーの雰囲気をパージし、プロセス材料の汚染と酸化を低減するのに役立ちます。ウェハトランスファーハードウェアを使用すると、オペレータはウェハトランスファーハードウェアを確実に動かすことができます。ロットIDリーダーを使用すると、オペレータは処理中のロットをすばやく識別し、正しいデータセットを使用していることを確認できます。製品データレコーダーは、オペレータがすべての生産データ、およびプロセスに関連付けられている可能性のあるその他のデータを追跡するのに役立ちます。TEL ALPHA 8 Sは、SEMIおよびそれに関連する規格によって確立された必要な仕様のすべてを満たすために構築されています。これは、信頼性と効率的な動作のために設計されており、安全で制御された環境で高品質のウェーハを生産することができます。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 Sは、製造工程ごとに可能な限り高い品質基準を必要とするデバイスメーカーに優れたソリューションを提供します。