中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293809604 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8Sは、半導体製造において最高レベルの品質と性能を実現するために設計された先進的なウェーハ拡散炉です。このシステムは、大規模チップ製造からデバイス認定試験まで、幅広い用途に使用できます。TEL ALPHA-8Sは、安全性、品質、プロセス制御を最大限に確保するために、多くの独自の機能とコンポーネントを備えています。このユニットの中心には、比類のないTEL蒸気拡散製造プロセスがあります。残留不純物レベルは、このプロセスを使用して製造されたすべてのウェーハで2ppmよりも低く、30ppmまで達することができる他のシステムと比較して。統合されたTube Furnaceテクノロジーにより、チャンバー全体にわたって正確な温度均一性が保証され、正確なパラメータ内のすべてのウェーハと一貫したパフォーマンスを実現します。同様の技術により、究極の正確なプロセス制御が可能になり、オペレータは必要に応じてプロセスパラメータを監視および再調整することができます。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 Sは、上部サイドヒーターを3つのゾーンの1つに統合した3ゾーンのボトムサイドヒーター構成を採用しています。この構成により、拡散プロセスの最大限の効率、均一性、柔軟性が保証されます。また、ウェーハテーブルの回転精度を向上させ、正確で信頼性の高いプロセス制御を提供します。TEL ALPHA-8 Sは、高度なプロセス技術に加え、半導体生産に必要なデータ・メディア生産をサポートするための機能も提供しています。Media Server機能を使用すると、オペレータは、追加の処理または検証手順なしに、対象素材のプロセスステップをダウンロード、保存、実行できます。これにより、全体的に高効率で正確なプロセスが保証されます。予測ツールモニタリングマシンはソフトウェアに組み込まれており、プロセスステータスに関するリアルタイム情報を提供し、矛盾の記録を保持します。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8Sには高度な安全機能が搭載されており、プログラマブルセーフティロックアウトツールにより、重要な安全手順やメンテナンスをユーザーに知らせることができます。スプレーモニタの資産は、スプレー強度と均等性を継続的に検証し、チャンバーへの最も効率的なガス供給を保証します。ALPHA-8 Sは、PC通信インターフェイスや自動ウェーハ転送用の統合ローダー/アンローダーモデルなど、カスタマイズ可能な機能も備えています。これにより、東京エレクトロンアルファ8S今日の市場で最も包括的で汎用性の高い拡散システムの1つになります。