中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293805551 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8Sは、電子部品の効率的な加工を可能にする先進的な拡散炉です。TEL Limited （TOKYO ELECTRON）が製造するこのデバイスは、半導体製造のための汎用性、信頼性、低コストのソリューションです。TEL ALPHA-8S拡散炉は、熱酸化プロセスに最適な垂直シングルウェハプロセッサです。この効率的な機械は、汚染を最小限に抑え、酸化の均一性を高めるように設計されています。1200°Cまでの温度を維持しながら最大20kW消費する強力な300mmホットゾーンを装備しています。その効率的な冷却装置は、3分未満の総熱サイクル時間を通じて急速な冷却と熱処理の完了を提供します。東京電子ALPHA 8 S拡散炉のホットゾーンとコールドゾーンは、独立制御されたデュアルゾーン上下の6つのチャンバーで構成されています。これにより、ウェハ全体にわたって迅速かつ均一な温度分布が容易になります。さまざまなプロセスに対応するために、静的、動的および適応的な温度制御を含む複数の均一性制御モードが利用可能です。ALPHA-8S拡散炉には、先進的なコントローラのセット、ローラーボールタイプの基板サポート、ガス供給システムなど、さまざまなアクセサリーが付属しています。一体型ガス供給ユニットにより、拡散炉は制御された量の酸素、窒素、およびその他のガスにアクセスして、表面反応の状態を効果的に変更して微調整することができます。また、非接触型赤外線温度計と接触型抵抗温度検出器の2種類の温度センサを標準付属しています。ALPHA-8 S拡散炉は、無敵のレベルの安全性を確保するために、さまざまな認証を取得しています。CEやULなどの基本的な安全認証とは別に、このマシンは医療機器の製造に関するISO13485規格と、ウェーハ切断の精度のためのSEMI S2に準拠しています。東京電子ALPHA-8 Sは、エレクトロニクス業界における部品の効率的な製造のための高度な機能とアクセサリーのセットを提供する強力な拡散炉です。温度制御されたホットゾーンとコールドゾーン、表面状態を微調整するガス供給機、センサーやコントローラなどのアクセサリーが特徴です。幅広い認証を取得しているため、信頼性が高く、正確で安全な生産が保証されます。