中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293802479 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8Sは、フルモジュラーの8チャンバー拡散炉とアクセサリーです。均質な熱処理の分野において、精密で高品質な処理能力を提供します。これは、高スループットのアプリケーションに対応し、優れた操作と配信を介して時間を節約するように設計されています。TEL ALPHA-8Sは、複数の基板サイズ、柔軟な制御設定、幅広い統合部品などの柔軟な操作機能を備え、効果的な熱処理の最適化を可能にするように設計されています。東京電子ALPHA 8 S拡散装置には、高度なガス流量システムが搭載されています。高品質な熱交換ガスの精密なガス流量を利用して、正確かつ正確な温度制御を実現します。高い許容ガスの流れは精密なガスの流れの制御弁および高性能のガス注入器によって達成されます。注入によって作成される精密な熱勾配は端の効果を減らし、均一性を改善するように設計されています。TEL ALPHA 8 S拡散炉は、高性能で低衝撃性のセラミック基板を搭載し、加工時間の短縮と品質の向上を実現しています。耐久性のあるセラミック基板は、最も攻撃的なプロセス用途にも耐え、時間/歩留まり性能を向上させます。また、セラミックスは幅広い温度耐性材料を備えており、正確で均一な加工結果を保証します。TEL Alpha 8S拡散装置は、安全運転を確保するために、電源と各種安全装置を一体化しています。内蔵電源は、過熱損傷を防ぐために、あらかじめ設定された最大電力設定を備えていますが、幅広い安全機能には、自動フィルター監視および冷却モジュールのモニター、温度保護および過圧保護が含まれており、損傷に対する完全な保護を確保するのに役立ちます。TEL ALPHA-8 S拡散炉には高度なソフトウェアが搭載されており、システム全体の正確な制御と監視が可能です。ソフトウェアは、プロセスパラメータを最適化し、設定を構成し、傾向を監視するために使用することができます。さらに、強力なデータ収集および分析システムが含まれており、リアルタイムでプロセスパラメータを監視および分析できます。最後に、東京エレクトロンALPHA-8S拡散装置には、ロボット搬送モジュール、CFバスセラミックモジュール、ウェハハンドリング技術など、ウェハーの搬送・搬送技術が搭載されています。これにより、効率的なプロセス最適化が可能になり、ウェーハを安全かつ正確に処理できるようになります。最後に、東京エレクトロンアルファ8S拡散炉とアクセサリーは、高スループット熱処理のための信頼性が高く、効果的で費用対効果の高いソリューションを提供します。その革新的な設計、精度、品質、安全機能により、集中的な熱処理アプリケーションに最適です。