中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293794330 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S （TEL ALPHA-8S）は、ウエハの製作・組立に使用できる拡散炉・補助装置です。垂直ダウンダーダイレクトドライブシステムを採用し、低熱歪みと制御性の向上を実現しています。東京エレクトロンALPHA 8 Sは、高精度な温度制御のための可変周波数駆動を備えており、炉の設定変更時の精度と再現性を向上させます。また、標準の排ガス流量計を搭載しており、プロセスの一貫性と均一性を向上させるためのガススループットの最適化を可能にします。TEL Alpha 8Sは、拡散、酸化、窒化、低温アニーリングなど、さまざまな熱処理をサポートしています。均一なウェーハ加熱を確保するために、炉には機械化されたるつぼとステージの回転システム、および上下の水晶ランプが装備されています。るつぼの回転はダイレクトドライブモーターを介して行われ、角度はるつぼとステージの両方の回転のために独立して選択することができます。これらの機能はどちらも、炉内のウェーハの均一性を向上させるように設計されています。Alpha 8Sには、温度、アンモニア、排気ガス遮断システムなど、多くの安全機能も装備されています。また、過熱運転を防止するために設計されており、温度が設定点を超えると動作を停止する温度設定装置を備えています。また、高度な自動パージ機能を備えており、熱プロセス間のシステムをパージし、プロセスの均一性を向上させるスループットを最適化します。最上位の拡散炉に加えて、ALPHA-8 Sには、あらゆる半導体製造設備のニーズに対応するための多数の支持アクセサリーも含まれています。電磁ポンプ、温度測定プローブ、ウェーハ温度平衡スタンドを備えています。オプションのアクセサリーとして、粉末エアフィルターなどの追加部品も多数用意されています。ALPHA-8Sは、高品質で高性能な半導体デバイスを製造するために使用できる汎用性と信頼性の高い拡散炉です。そのシンプルで高度な機能と幅広い支持アクセサリにより、さまざまなウェーハ形状、サイズ、およびサーマルプロファイルを作成できます。高いスループット、均一性、特定のプロセスパラメータへの厳格な遵守が求められるアプリケーションであれ、東京エレクトロンアルファ8Sはウェーハの製造と組み立てに最適です。