中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293794213 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S Diffusion Furnaceは、高度な半導体デバイス製造のニーズに応える、強力で費用対効果の高い熱処理ソリューションです。省スペース設計により、生産能力の向上と歩留まりの向上を実現します。TEL ALPHA-8Sの柔軟性は、ウェハの自動搬送、温度、圧力、大気の精密制御、高度なプロセス制御システムの統合によって実現されます。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 Sは、内部クリーンチューブにより、高精度のガス複合圧力制御、6チャンバーボトムアップファブアーキテクチャによるスループットの向上、粒子汚染の低減を実現します。高度なマイクロエレクトロニクスの製造においてガス複合圧力制御は重要であり、TEL Alpha 8Sは拡散プロセス全体にわたって正確な温度および圧力制御を提供することができます。また、TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8Sには強力なプロセスコントローラが搭載されているため、オフサイトでのソフトウェア制御が不要となり、即座にプロセス最適化が可能となります。TOKYO ELECTRON ALPHA-8Sは、高度な安全機能も備えており、すべての安全基準を満たしたり超えたりするように設計されています。これには、圧力または温度が予めプログラムされた安全限界を超えた場合に作動する自動シャットオフシステムを含む過圧安全装置が含まれます。ユニットには、緊急時に迅速かつ安全に圧力が緩和されることを保証するための緊急通気口の開口部も含まれています。さらに、TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 Sは、パフォーマンスを向上させ、効率を最大化するためのさまざまなアクセサリーを備えています。これらには、真空機械、不活性ガス導入ツール、不活性ガス排気および回収資産、ロードロック真空サポート、貨物室、および監視および制御システムが含まれます。自動化されたウエハハンドリングモデルは、TEL ALPHA-8 Sと互換性があり、ロットサイズ、スループット、および追加機器の統合の制御を向上させます。また、ALPHA-8Sはオプションの熱冷却段階を備えており、急速な熱処理の進行中にウェハの温度を素早く下げることができます。高度な安全機能、精密制御、強力なプロセス制御システムを備えたALPHA 8 S拡散炉は、要求の厳しい半導体デバイス製造業界にとって理想的なソリューションです。東京電子ALPHA-8 Sは、コスト効率に優れた省スペースで、生産能力の向上と歩留まりの向上を実現します。