中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293775119 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRONアルファ8S拡散炉は、異方性エッチングおよび拡散プロセスの精密ツールです。TEL ALPHA-8Sは、スループットと製造性を最大化しながら、幅広い基板で精密で再現可能なエッチングと拡散動作を可能にします。これは、タイトな設計と開発予算と短いリードタイムに最適です。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 Sは、最大動作温度範囲500°C〜1300°Cのシングルウェーハ拡散・エッチング装置です。可変圧力リアクタント搬送システムを備えており、中小規模の構造物を精密に製造することができます。基板移動用のシングルステージベルトドライブを備えており、迅速なスループット、滑らかな基板位置決め、ベルトローディング速度の調整が可能です。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8Sは、高度な温度・圧力センシングユニットを搭載し、プロセス条件を正確に制御します。この高度な機械は、炉に正確で再現性があり、一時的に最適化された熱およびガスの流れを可能にします。また、クローズドループ制御を進め、反応条件を正確に制御し、一貫した再現性のある拡散/エッチング結果を提供します。さらに、TEL Alpha 8Sには超低粒子環境チャンバーが内蔵されており、作業基板上の粒子状汚染がほぼゼロになります。これにより、サブミクロン分解能が確保され、異なる基板にわたって高い収率が得られます。コンピューター制御のユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスにより、オペレータは拡散プロセスを効率的かつ使いやすい制御を提供します。ALPHA-8 Sには多数のサポートオプションが装備されており、エッチングと拡散プロセスのためのオールラウンドツールとなっています。これには、基板回転、プロセス/リフトオフ焼入れ、エッチバック、高圧CVD、ドーパント活性化、裏面エッチング、急速な酸化、および急速な窒化が含まれます。東京エレクトロンALPHA-8 Sは、エッチャーやドープを幅広く使用することが可能で、エッチングや拡散操作を容易に行うことができます。TOKYO ELECTRONアルファ8S拡散炉は、エッチングおよび拡散プロセスのための信頼性と汎用性の高いツールです。高度な温度および圧力センシングシステムにより、正確で一貫した結果が得られます。一方、シングルステージベルト駆動により効率的なスループットを実現します。支持の選択の多数と結合されて、Alpha 8Sは生産および研究にとって理想的な非常に可能な拡散およびエッチング用具を提供します。