中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293775116 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRONアルファ8S拡散炉は、ウエハ基板の熱処理のための先進的なツールです。8ゾーンのパラレルリニアホットウォール設計により、高い均一性と精度を維持しながら、大幅な生産性の向上を実現します。炉の線形a。chの電磁石の熱い壁の設計は炉の作業室を渡るより速い温度の傾斜、より高い効率およびより熱均一性を可能にします。TEL ALPHA-8Sには同社の高度なコントローラが付属しており、CVDや窒化物プロセスなどの熱処理を正確に制御できます。コントローラーは色のタッチ画面操作を特色にし、各64のステップを16までプログラムに与えます。この洗練されたユニットには、オプションのプロセスモニタリング、完全に自動化された校正、およびスケジューリングジョブのリアルタイムクロックも含まれています。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 Sは、高性能で最適なプロセス制御と迅速な納期を実現するために設計されています。低消費電力で設置面積が小さいため、スペースに制約のある環境やリモート環境に最適です。この炉は、最大1150°Cの温度範囲を提供し、最大200個のウエハを保持できます。それはまた炉の部屋全体の温度の均等性を維持するのを助ける強力な排気の送風機を含んでいます。この炉はまた、より高速で効率的なランプレートを備えており、より高いスループットと生産性を実現します。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 Sには、安全機能が充実しており、安全・安心な運転が可能です。この炉はクールなタッチクラムシェル蓋を備えており、運転中の熱損失を防ぎ、簡単に開閉してロックすることができます。また、TEL ALPHA-8 Sは、室温を監視するヒートモニターを備えており、プリセット範囲外の温度偏差を検出することができます。このモニターは、温度が所定の制限を超えると自動的に機械をシャットオフします。最後に、炉にはESS （Emergency Shutoff Switch）が付属しており、機械の簡単かつ安全な緊急シャットダウンを可能にします。要約すると、ALPHA-8S拡散炉は、ウェーハを熱処理するための高度なツールです。それは8ゾーンの平行線形熱い壁の設計を特色にし、それを非常に生産的、均一にします。このコントローラは、強力でユーザーフレンドリーなインターフェイスと完全なオートメーション機能を備えています。低消費電力と小型フットプリントにより、あらゆるスペースと予算の制約に適合します。Plus 8S炉は、緊急時のシャットオフスイッチや温度モニターなどの安全機能も備えており、あらゆるラボ環境で安全で安全な選択肢となっています。