中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293770421 を販売中

ID: 293770421
ヴィンテージ: 1996
Furnace 1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8Sは、ハイエンド半導体デバイスの競争力のある生産に使用される先進的な拡散炉であり、デバイス製造メーカーにこれまでにないパワーを提供します。TEL ALPHA-8Sは8インチのウェーハ容量を持ち、最大11個の独自の拡散パラメータを動作可能です。炉は非常に速いです;高出力のローディングシステムを利用して、それは8秒の2つまでのウェーハを処理できます。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 Sは、高度な熱制御技術と安全機能を備えています。たとえば、炉の連続温度制御機能は、必要に応じて温度レベルを継続的に監視および調整し、オペレータからの入力を最小限に抑えて完璧な条件を確保します。さらに、フレイムブロッキングモジュールは、ヒーターに取り込まれる前にウェーハを空気酸化および汚染から保護します。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 Sは3。2 kW、最高温度1,200°Cで動作します。10チャンネル温度調整モジュールを搭載し、最大11個の拡散パラメータを同時に設定できます。この柔軟性により、製造者はより効率的で正確なデバイスを生産することができます。ALPHA 8 Sには、さまざまな用途にガスを導入できるマルチガス配送構成も備えています。この炉は、C-2ガスと窒素の両方に対応しています。新しく採用されたワイドフォーマットのウォームウォールを採用した新しいチャンバー設計により、広範囲の拡散パラメータが可能になり、動作中のウェーハの視認性が向上します。ALPHA-8Sには、正確な操作と制御を容易にするオンラインモニタリングシステム(OMS)が標準装備されています。OMSには直感的なユーザーインターフェイス、リアルタイムモニタリングシステム、ドライブ履歴と収集データを記録する機能があります。OMSは、オペレータが各ウェーハの進捗状況を追跡するのに最適なツールです。ALPHA-8 S拡散炉は、過酷な産業環境に耐えるように設計されており、生涯保証が付属しており、安心と顧客満足度を提供します。
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