中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293770344 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8Sは、さまざまな半導体製造用途に使用されるプレミアム拡散炉およびアクセサリーパッケージです。炉の主要な部品は縦の炉の管、調節可能な粉のタワーおよび注入器の2組を含んでいた。炉の管はowによって避難させた底部の部屋と設計され、300mmまでウェーハか破片を動かすことができます。調節可能な粉末タワーには、精密な調整のための駆動モーターが内蔵されており、酸化物層を重ね合わせることができます。インジェクターは、より厚い酸化物の層をより均一な方法で、正確なアスペクト比コントロールで堆積させることができます。TEL ALPHA-8Sのもう1つの特徴は、酸化前にウェーハやチップを迅速かつ正確に加熱するために使用される統合ヒーターです。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 Sに搭載された統合制御システムは、ウエハクリーニング、予熱、冷却だけでなく、正確なガス流量最適化が可能です。制御システムには、専用のプログラマブルPIDコントローラ、リアルタイムデータ可視化、リアルタイムアラームモニタリング、クラウドベースのデータライブラリを備えた24の温度ゾーンがあります。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8Sには、極低温中性子沈着、アニーリング、リソグラフィ、非接触粒子スクラビングなど、基板調製用の各種アクセサリも含まれています。さらに、アクセサリツールは、赤外線スキャン、分光、光学イメージングなどの高度な計測技術をサポートします。TOKYO ELECTRON Alpha 8Sは、半導体製造用の高性能拡散炉であり、温度、ガスの流れ、粒子の均一性、基板の清浄度を正確に制御するために設計されています。精密プロセス制御のための包括的なアクセサリツール、リアルタイムのデータ取得とウェーハ洗浄のための統合制御システムが付属しています。
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