中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293770343 を販売中
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TEL/TOKYO TEL/TOKYO ELECTRONアルファ8S拡散炉は、拡散プロセスに革命をもたらした最先端の熱処理装置です。この汎用性の高い拡散炉は、危険な材料温度変動の検証と制御など、幅広い用途と機能を提供します。東京電子/TOKYO TEL ALPHA-8S拡散炉は、N、 Al、 GaN、 SiC、 GaAs基板の熱処理に適しています。この炉は、独立したゾーン加熱制御を備えた8ゾーンのセグメント化された上下ヒーターを備えており、複数のキャリアまたは基板を処理するための高い柔軟性を提供します。TEL/TOKYO ELECTRON/TOKYO TOKYO ELECTRON ALPHA 8 Sは、昇華暖房システムであるユニークなアクセサリーを搭載しています。このユニットは、ナノ材料の薄膜堆積の形成に温度勾配を適用することができ、拡散プロセスを加速し、改善することができます。使いやすいコントロールパネルを使用すると、あらかじめ定義されたプログラムを選択したり、カスタマイズされたプログラムを作成したりできます。また、サーマルプロファイルをミラー構成で制御することにより、高精度かつ安定性を提供するAdvanced Heating Machine (AHS)も搭載しています。データベースレコーディングツール(DRS)を使用して、温度、ヒーター電力、ガスの種類、流量などのプロセスパラメータをログに記録し、プロセスを監視し、トラブルシューティングを支援します。TEL/TOKYO TEL ALPHA 8 S拡散炉は、大気のチェックとレギュレーションのための緊急遮断スイッチを統合して設計されています。緊急シャットオフスイッチは電源に直接接続され、安全上の問題が発生した場合にはアセットがシャットダウンされるようにします。TOKYO ELECTRON/TOKYO TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S拡散炉の主な利点は、熱均一性と安定性の向上、生産性の向上、安全性の向上、徹底的で汎用性の高いプログラマブル制御モデルです。高度な機能、信頼性の高い操作、ユーザーの利便性により、この拡散炉は温度に敏感なタスクやアプリケーションに最適です。
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