中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293769821 を販売中

ID: 293769821
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1994
Furnace, 8" 1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8Sは、高精度で集中的なプロセスに優れた性能を発揮する拡散炉とアクセサリーです。本装置は、主に半導体・光電子産業におけるイオン注入・拡散プロセスに使用されます。これは、最高レベルの性能と精度を必要とするアプリケーション向けに特別に設計されています。TEL ALPHA-8Sは完全に統合された拡散炉です。それはよりよい均等性のためのより低い温度の地域および急速な暖房および冷却機能のためのより高い温度の地域が付いている二重義務強制対流装置を特色にします。このシステムの温度範囲は、900°Cの低いと1050°Cの高いの間です。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 Sには電子プロセス制御が搭載されており、最も困難な環境でも正確なPIDとモデル制御が可能です。また、高度なアルゴリズムと蒸着方法を使用してガスと酸素レベルを正確に制御する機能も備えています。また、センサー制御式ヒーターを採用し、高精度な加熱・冷却機能を実現しています。TEL Alpha 8Sは、制御技術における最新のイノベーションを特長としています。高度なコマンド制御インテリジェンスモジュールを備えており、迅速かつ簡単なプログラミングとコマンドを可能にします。また、内部メモリとグラフィカルインターフェイスを備えており、迅速かつ簡単に操作できます。ALPHA-8 Sは、拡散プロセスの汎用性と能力を高めるように設計されています。堅牢な物理設計と革新的な技術により、このツールはプロセス速度の向上、パフォーマンスの向上、プロセスの均一性の向上を実現します。さらに、この高度なアセットは、正確で信頼性の高い温度設定を提供し、正確な結果と再現性を実現します。ALPHA-8Sは、最も要求の厳しい、高精度で集中的なプロセスに最適です。優れた性能と信頼性を備えたこのモデルは、半導体および光電子産業におけるイオン注入および拡散プロセスに最適です。
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