中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293769731 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8Sは、半導体・電子産業における高精度アプリケーション向けに設計された最先端の拡散炉とその付属品です。素早い復旧時間で優れた温度分解能を提供し、短いサイクル時間と高いスループットを実現します。TEL ALPHA-8Sには、高温ウェーハで使用できる取り外し可能な石英加熱ブロックが装備されており、複数の固定が不要です。高温処理能力により、ポリシリコンやシリコンゲルマニウムなどの材料の急速熱処理も可能です。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 Sの加熱ブロックは独立して制御され、熱電クーラーを内蔵しており、温度プロファイルを正確に制御できます。石英ライナー付きのグラファイトサセプターは、均一な加熱面と長寿命を提供するために使用され、取り外し可能な石英シールドはウェーハを熱放射から保護します。TOKYO ELECTRON Alpha 8Sには、加熱ブロックの温度範囲外でも温度モニタリングが可能なピロメーターも搭載しています。ALPHA-8 Sは炉の部屋中の優秀な均等性のために設計されています。3点の温度補償装置は1°Cよりより少しの最高の変化の全体の部屋全体の優秀な温度の均等性を保障します。マルチスロットターンテーブルは、ウェーハを手動で回転させる必要がなく、マルチスライスシステムにより、複数のウェーハを簡単にロードおよび取り外すことができます。さらに、Alpha 8Sには、プロセス全体にわたって優れた温度均一性を提供する真空避難ユニットが装備されています。このチャンバーには、加熱プロセス中にウェーハを密閉する窒素パージ機も付属しています。これにより、低拡散損失で効率的かつ再現性の高いウェーハ処理が可能になります。最後に、TEL ALPHA-8 Sには包括的なソフトウェアサポートが含まれており、ユーザーは特定のニーズに合わせてレシピパラメータを作成できます。このソフトウェアは、炉のプログラミングと操作を簡単かつ簡単にし、高度なユーザーがツールを最大限に活用するためのパラメータをいじくり回すことができます。すべてにおいて、TEL Alpha 8Sは半導体およびエレクトロニクス産業における精密用途のための拡散炉の優れた選択肢です。