中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293759912 を販売中
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ID: 293759912
Furnace, 8"
Process: HTSIC WDRIV
CIM: SECS
Carrier and wafer transfer unit
ASYST / Pb90C SMIF
Layout type: U / box type
LL Hand
VMU-40-007 Heater
Torch heater
Gases: N2, O2, H2, Trans-LC
Wafer Type: SEMI STD-Notch
Cassette Type: Entergris / XT200-01E
(25) Cassette wafers
(16) Cassettes
Fork type / material: 1+4 / AI208
Fork variable pitch
TS4000Z System controller
PYRO CTL Torch controller
Signal tower colours: G/R/A
Pressure display units: Pressure Mpa
Cabinet exhaust display units: Kpa
M121 Furnace temperature controller
Does not include Quartzware
Gas distribution:
Conventional gas system
Tubing material: Stainless steel
Finish: Electro-polished
FUJIKIN manual and air-operated valve
MFC
Power:
Single phase, 120 VAC
3 Phase, 208 VAC
UPS Input voltage / output voltage: 120/100 V
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8Sは、プロフェッショナルな製造用途で使用される半導体の蒸着プロセス用に設計された拡散炉とアクセサリーです。TEL ALPHA-8Sはセラミックチャンバーを使用しており、入庫から出庫までの連続工程が可能です。この陶磁器の部屋は混合物の効率的な移動そして冷却のための改善されたガスの流れのための教育者のガス供給装置と関連しています。RFグラファイトサセプターは、パッケージを熱分解から保護し、基板とその周辺との接触を制限します。このサセプターはまた、炉に存在する静電気のレベルを最小限に抑えるように設計されています。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S拡散炉は、100°C〜1100°Cの様々なプロセス温度が可能です。1440°Cまでの暖房版の温度によって、炉はさまざまなプロセスパラメータに合わせることができます。この炉は、メタンハードウェア制御システムを自動化したIn-Situチャンバーを使用して、プロセス制御を改善し、最適化された蒸着プロセスのカセット間の変動を最小限に抑えるように設計されています。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 Sは、圧力検出機構などの堅牢な安全機能を備え、炉を潜在的な問題から保護します。圧力センシングは自動的にガスの供給を増加または減少させ、ユニット全体で安定した雰囲気を確保します。それはまた炉の外の警報に接続し、潜在的な問題に応じて誘発することができる温度ベースの警報機械を含んでいます。アルファ8Sには、電磁干渉を避けるためにEMIシードル発電機も装備されています。半導体加工に特に適しており、熱分配の一貫性と高品質の製品を保証します。以前のモデルよりも改善されたのは、外室内の二重診断制御や酸化アルミニウム絶縁などの機能です。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 Sは、半導体蒸着プロセスの強化に使用するために設計された信頼性の高い効率的な拡散炉です。そのセラミックチャンバーとRFグラファイトサセプターは、サプライヤーとその周辺との接触を制限しますが、EMIシールド発電機と圧力検出機構は追加の保護を提供し、安全で使いやすいです。TEL ALPHA 8 Sは安定した信頼性の高いプロセスをお探しの方に最適です。
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