中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293759271 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8Sは、超精密熱処理用途に特化したハイエンド拡散炉およびアクセサリーです。高度でプログラマブルなロジック制御(PLC)と複数のプロセスチャンバーを備えたTEL ALPHA-8Sは、複雑で困難な熱処理タスクを処理するための最先端の高度な拡散機能と優れたスループットを提供します。この装置は、高精度で超微細な熱処理タスクに最適で、超高温アニールやその他の精密プロセスを迅速かつ正確に実行する機能を提供します。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 Sは、高効率、省エネ、インテリジェント制御の水素と窒素の低減を実現し、最適かつ高速かつ高精度な熱処理を実現します。PLCプログラムは、温度、ランピングレート、温度分布、およびその他の拡散パラメータを正確に制御するために使用できます。拡散システムには二重温度制御回路も組み込まれており、水素と窒素の両方を個別に制御することができます。TEL Alpha 8Sは、個別のユーザー要件を満たすようにカスタマイズおよび構成できる複数のプロセスチャンバーで設計されています。このユニットは、高温酸化、低減、拡散処理に最適化された特殊な高真空チャンバとチャンバを備えています。拡散機械はまた、特に精密な半導体ダイおよび部品を使用する場合、優れた均一性を提供するマルチゾーン、マルチチャンバー精密温度制御を利用しています。このツールはまた、炎の安全シャットダウンモードと安全シャットダウンバルブを迅速にアクティブ化する機能を含む、複数の安全機能を備えており、安全な操作と最適なパフォーマンスを保証します。その他の安全機能には、正確な温度検出のためのアクティブキャリブレーションアセット、および正確な加熱のための適応型加熱およびアクティブな大気管理システムがあります。さらに、TEL ALPHA-8 Sには、放射線およびガス外のための高度な警告および保護システムも含まれており、オペレータの最適な安全性を確保します。TOKYO ELECTRON Alpha 8Sは、要求の厳しい精密な熱処理アプリケーションに最適です。その優れたプログラマブルロジック制御、複数のプロセスチャンバー、高度な安全機能により、挑戦的で高精度な熱処理に最適です。高性能、高度な拡散、酸化、還元、その他の精密な熱処理を優れた結果で実行することができます。
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