中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293754614 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8Sは、半導体製造業界に高精度、効率的、信頼性の高いドーピングを提供するために設計された高性能拡散炉およびアクセサリーです。これは、垂直荷重構造、独自の省電力OXGATE駆動装置と温度均一性を向上させるための高度な温度制御システムを備えています。TEL ALPHA-8S炉は、石英るつぼと2デッキのガス流量制御ユニットで構成され、正確な化学供給を実現します。水冷蒸発器を使用して蒸発速度を最小限に抑え、ウェーハ表面全体にわたって極めて高い温度均一性を発揮します。アッパーデッキには、パドルローディングステーションと、シャッターコントロールのための可変角度/マルチポジションシャッターアセンブリがあります。また、下甲板炉にはOXGATEフォーカシングコイルを搭載し、高精度ドーピングを実現しています。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 Sは、優れた温度均一性を提供し、広いウエハー領域での精密ドーピングを可能にします。さらに、スプリットロットプロセスの均一性テストを効率的に実行できるため、さまざまなスリット幅とウェーハサイズのマッチング機能が向上します。TEL ALPHA-8 Sはまた、優れた試験効率を提供します。ダウンタイムを最小限に抑え、再現性を最大限に高め、生産ロット検証の精度を向上させ、より高い歩留まりを実現するように設計されています。特許取得済みのパルスランニングマシンを組み込むことで、プログラミングの複雑さが軽減され、サイクルタイムが短縮され、全体的な生産性が向上します。さらに、高度な温度制御ツールは、組み込み温度センサーを使用して効率的な動作を保証します。全体として、ALPHA-8 Sは半導体産業のための高度で、信頼できるドーピングソリューションを提供します。高精度の温度制御と均一性を提供し、資産の安定性と歩留まりを向上させることができます。省電力のOXGATEドライブモデル、可変角度/マルチポジションシャッター、パルスランニング装置により、生産性を向上させ、優れた品質8Sを実現します。