中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293738386 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8Sは、窒化物、オキシニトリド、窒化物酸化膜を正確に生成できる汎用性の高い半自動バッチ拡散炉です。優れた均一性と再現性で高品質な熱処理を可能にし、デバイスや基板の量産に最適です。TEL ALPHA-8Sには、超精密温度制御、自動化されたプロセス監視および調整機能、および安定した垂直ガス配分装置が装備されています。この炉は30インチのアンカーバッククォーツチューブを備えており、ウェーハの積み降ろしを容易にすることができます。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 Sの最高温度定格は1,150°Cで、動作可能な面積を計測することで、下段、中段、上段の温度設定をカスタマイズできます。精密な処理を可能にするため、効率的で自動化されたプロセス制御システムが実装されています。温度、圧力、および反応時間をリアルタイムで設定および調整することで、事前設定されたプロセスのより良い制御を可能にします。この炉には、2つのコイルで構成された新開発の「デュアルコイル」タイプのガス噴射ユニットが搭載されています。これらのコイルは、ガス流量制御を強化し、ガスの均一性と全体的なプロセス制御を向上させるために独立して配置することができます。さらに、Alpha 8Sは柔軟性のために設計されており、手動操作と完全自動操作の両方を可能にします。手動プロセス制御はプログラム可能なセットポイントを提供し、ユーザーは簡単に環境と対話し、製品要件に基づいて実行を迅速に調整および変更することができます。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8Sは、最適な酸化性能をサポートするため、内部の熱酸化活性を監視および表示する統合酸化モニターを標準装備しています。このin situモニタリングマシンは、選択したプロセスの効率を示すプロセスの酸化状態に関するタイムリーなデータと情報をユーザーに提供します。さらに、統合されたプロセス制御ツールは、ウェーハバイウェーハプロセスの均一性を最適化するために使用できる一定のフィードバックを提供します。TEL ALPHA 8 Sの性能をさらに高めるために、アクセサリーも活用できます。プロセス割り込みセンサーや柔軟なアームローダーなどのオプションにより、さらなる制御と柔軟性を提供します。これらの機能は、生産中に可能な限り最良の結果が達成されることを確実にすることができます。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 Sは、卓越した拡散炉とアクセサリーキットです。自動化されたプロセス制御、高温定格、精密モニタリングにより、TEL Alpha 8Sは高品質の製品を効率的に生産することができます。包括的なアクセサリーオプションを利用することで、ユーザーは特定のニーズに最も適したALPHA-8Sをカスタマイズして微調整できます。