中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293704454 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8Sは、高性能な情報と精度で精密な加工を実現する最先端の拡散炉・アクセサリ機器です。このシステムは、半導体メーカーのニーズに合わせてカスタマイズされており、集中的なカスタム処理アプリケーションもサポートしています。高度の拡散炉は仕事の条件に従って合わせることができる制御設定および特徴の広い範囲を提供します。3,000°Cまでの温度制御を可能にする高温リニアクォーツ炉を備えています。これに直接接続されたガス供給ユニットは、ガスの流れを手動または自動で制御し、ユーザーが背圧、流量、および配達圧力を正確に制御できるようにします。さらに、フッ素化学蒸着チャンバーは、必要な化学蒸気濃度に応じて化学蒸着成分が供給されることを保証します。TEL ALPHA-8S機は2つの基本部品で構成されています。1つ目は、リニアクォーツ炉を収容する石英室を備えた炉自体です。さらに、この炉は、外部ヒーターコントローラと温度センサーを介して石英チャンバーの温度と大気の監視を可能にします。このツールには、石英チャンバーの均一な加熱を提供するグラファイトヒーターと、温度のオーブンと均一性を正確に制御する電子ビームヒーターが装備されています。アセットの2番目の部分は、高性能アクセサリーで構成されています。真空ポンプは、ガスが外部環境に直接供給されることを保証します。さらに、拡散管は、ユーザーが炉の入出力ガスを監視することができ、さらに温度と大気の正確な制御を可能にします。さらに、このモデルにはRF蒸発器があり、薄い層を堆積させるために必要な原子の流れを提供し、堆積される層の厚さを制御することができます。東京電子ALPHA 8 Sは、高度な情報と精度を提供する最先端の拡散炉です。その高度な機能とアクセサリーは、高度にカスタマイズされた集中的な処理シナリオに最適なツールです。当社の特許取得済みのリニアクォーツ炉と豊富なアクセサリーにより、この装置は小規模および大規模生産の両方の仕事に比類のない性能を提供します。
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