中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293627956 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8Sは、あらゆるタイプの拡散炉を容易にするために設計されたマルチゾーン拡散炉です。それは生産プロセスを簡素化し、現代の生産ラインの効率を改善するのを助けるように設計されています。アニール、事前拡散、反応、熱酸化、不純物の拡散および他のCVD/PVDプロセスを実行するのに使用することができます。TEL ALPHA-8Sは、生産コストを削減し、同時に速度と品質を向上させるために設計されたマルチゾーン拡散炉です。この炉は、マイクロプロセッサ制御の温度安定化反応室と最新のプログラム可能な精密ガス供給部品で構成されています。堅牢なビルドにより、最高レベルの稼働時間、信頼性、再現性が保証されます。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 Sのチャンバーは最高温度範囲が300°C〜1150°C （1°C単位）で、あらゆる拡散プロセスを可能にします。また、ウェーハや基板の積み降ろしを容易にするためのユニークで回転可能なウェーハボートを備えています。さらに、反応室の温度によって制御される高効率の不活性ガス循環装置を備えています。TOKYO ELECTRON ALPHA-8Sはまた、その効率を向上させるために設計された多数のアクセサリーやオプションを備えています。これらの付属品には、ガスインジェクションシステム、統合ガススクラバー、およびリバースフィルタリングユニットが含まれます。ガス注入機械は拡散プロセスを変えることができる多環芳香族および他のガスの制御された導入を可能にします。統合されたガスクラバーは、有害な副生成物が反応室に入る前に除去されることを保証します。一方、リバースフィルタリングツールは、洗浄ガスのモニター排気を可能にします。ALPHA 8 Sは、大規模な生産設備に最適です。その広い温度範囲とプログラム可能な機能により、幅広い拡散プロセスに適しています。その堅牢な設計と効率的なアクセサリーは、生産ラインの効率をさらに高めます。