中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #293607761 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8Sは、最大300mmまでのウエハや関連部品を高性能で加工するために設計された拡散炉&アクセサリーです。機械は大容量の制御、冷却および処理機能を提供します。ウェーハ搬送用の内部ゲートバルブ、拡散・アニーリングチャンバー、正確なモニタリングと温度制御のためのピロメトリー装置など、さまざまな機能を備えています。TEL ALPHA-8Sは1200 Series-Aのガス制御システムを備えており、高い貫通性、再現性、安定性のための正確な温度およびガス制御のために拡散室に統合されています。このマシンには、最大8つの基板タイプ、8つのジョブタイプ、および8つのウェハホルダーサイズの効率的なジョブ統合用のマルチタスクインターフェイスが装備されています。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 Sプリヒートポンプは、正確な酸化物成長制御を提供し、5つの蒸化器スティックバルブは、パワーランプとパワーコントロールの安定性を与えます。圧力監視機能は、最適なドーピング深さを達成するために、部品の広い範囲にわたって最大200トルクの圧力制御を可能にします。さらに、カプセル化されたcOOLPODは、温度プロファイルの再現性を向上させます。TEL Alpha 8S微調整されたドライポンプユニットにより、毎時300基板のスループットを実現し、Ewafer Applications Suiteとのインタフェースにより、ソフトウェア制御とリモート診断が可能です。また、チャンバー内に均一な熱配分を提供するためのフルフェイスドアを装備しており、必要に応じて追加のウェハホルダーを取り付けるオプションで、さまざまな基板を実行することが認証されています。統合されたパイロメトリーマシンは、温度の変化を検出し、精密プロセスを可能にし、幅広い基板にわたって再現性を確保するように設計されています。組み込みのデータ記録機能により、効率的なプロセス開発のための簡単なデータキャプチャが可能です。そのオートメーションは柔軟に設計されているため、最適化されたウェーハプロセスレシピ作成と完全なウェーハトラッキングが可能です。全体として、TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 Sは、最大300mmの基板を大量に取り扱う高効率なツールです。統合されたガス制御資産、効率的なジョブ統合と自動化、正確なパイロメトリーとドライポンプシステム、効果的なデータキャプチャとトラッキングなどの機能を組み合わせることで、Alpha 8Sはさまざまな拡散処理およびアニーリングアプリケーションに最適なソリューションを提供します。