中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #122684 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8Sは、半導体および関連製品の製造工程で使用される拡散炉およびアクセサリーです。この炉は、シリコンやゲルマニウムなどの材料の高度なアニール用に特別に設計されています。この製品は、半導体メーカーがますます高まる生産歩留まりと消費者からのデバイス性能向上の要求に応えるための重要な要素です。TEL ALPHA-8Sは、最大8個の独立した発熱体を多数備えたマルチゾーン炉です。各要素は2000°Cまで温度に達することができます。また、1000kWまでの非常に大きな暖房能力を誇っています。このタイプの電力で、炉はすぐに高温に達することができます。この高出力には、わずか数kWの低消費電力も伴います。独立した温度制御と高度な熱管理システムにより、エピタキシャル蒸着、拡散、高温アニーリング、ドーピングなどのプロセスに使用できます。また、TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 Sでは、安全対策をいくつか行っています。これらのうちの1つは、炉内の材料が重要な温度に達している場合にユーザーに警告する内蔵のアラームシステムです。炉はまた、高圧下であっても、炉の温度が安全な範囲内にとどまることを保証する冷却システムが装備されています。ALPHA 8 Sは圧力センサーを使用してチャンバー内部の圧力を制御することができ、プロセス全体をより効率的にします。さらに、アルファ8Sは急速な熱処理、窒化および酸化を含むいくつかの他のプロセスに使用することができます。この炉は、フォトマスクアライナー、ウェハ検査システム、計測システムなどの他のいくつかのデバイスとも互換性があります。TOKYO ELECTRON Alpha 8Sは、半導体業界で高品質のデバイスを生産しようとしているあらゆる規模の企業が使用できる信頼性と汎用性の高い機器です。