中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-ZVN #9227414 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S-ZVNは、シリコンウェーハ上のモノリシック集積回路の製造に使用される拡散炉およびアクセサリです。この機械は12まで独立してプログラム可能なプロセスチューブを提供し、熱酸化物、窒化物、ドープされた酸化物、およびドーパントのドライブインを含むさまざまなガス相プロセスを実行することができます。TEL ALPHA-8S-ZVNは、優れた熱性能を発揮する水晶チューブチャンバーを搭載し、1200°Cを超える超高温を精密な温度制御で実現します。拡散プロセスの正確な均一性を確保するために、東京エレクトロンアルファ8S ZVNの各チューブには、独立したゾーン温度、予熱、ランプアップ、およびクールダウン温度設定を備えた正確なデュアルゾーン温度制御システムが装備されています。これにより、高い均一性と再現性を実現し、精密な製造プロセスを実現します。また、アルファ8S-ZVNには、拡散室内の酸素濃度を正確かつ一貫して維持する自動酸化生成システムが搭載されており、ウェハ上の酸化物の厚さを均一にすることができます。このマシンには、独自のRFID対応ウェーハローディングサブシステムが装備されており、拡散プロセス全体を通じてすべてのウェーハに安全にラベルを貼り、追跡することで、簡単なレプリケーションと迅速なウェーハローディングを可能にします。TEL Alpha 8S-ZVNは、ヒ素とリンの両方を含む、標準的なドーパント駆動プロセスの範囲を実行することもできます。これらのプロセスでは、窒素またはアルゴン/水素混合物を生成することができるように設計されており、より安全で効率的なドーパント駆動が可能です。また、Vinyltrimethoxy silane （VTMS）とargon/hydrogenプラズマを同時に使用することもできます。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S ZVNは高信頼性で高精度な拡散炉とアクセサリーで、高密度モノリシック集積回路の製造に最適です。数多くの安全機能、信頼性の高い温度制御システム、自動ウェハローディングサブシステムにより、高度な集積回路を製造するための強力なツールです。