中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S ZVF #9227418 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S ZVFは、半導体業界のウェーハ加工に特化した先進的な拡散炉およびアクセサリです。TEL Alpha 8S ZVF装置は、CVDおよび拡散プロセス中に優れた温度均一性、高スループットレート、および改善されたウェーハ収率を提供します。TOKYO ELECTRON Alpha 8S ZVFシステムの特長は、高温CVDのデュアルチャンバー設計、高圧、高温プロセスチャンバー、ウェーハスループット向上のための環境チャンバなどです。Alpha 8S ZVFには、追加のインライン炉、オプションのUltra High Vacuum （UHV） performaceモジュールも含まれており、全体的なプロセス制御を向上させるためのガス配分を改善するために設計されています。TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S ZVFのデュアルチャンバー設計により、高温CVDおよび高速熱処理（RTP）またはRTA （Rapid Thermal Annealing）モジュールにより、2段階のプロセスフローが可能になります。デュアルチャンバーの設計には、処理ガスを均等に分散する水晶電気シャワーヘッド、安全性を向上させる低消費電力ウェーハ発熱体も含まれています。TEL Alpha 8S ZVFの高圧高温モジュールは、接触温度を維持しながら、優れた材料均一性と高いスループットを提供します。このモジュールは、最大600トーラーの圧力と1400°Cまでの温度に対応するように設計されており、デュアルクォーツカーボンシートゾーン、改良されたクォーツカーボンゴールドコート炉、およびクローズドループのガス分配ユニットが含まれています。また、東京エレクトロンアルファ8S ZVF炉は、プロセス制御と安全性の向上のために設計されており、正確なガス温度制御とより大きなプロセスウィンドウをユーザーに提供します。Alpha 8S ZVFのオプションのUltra High Vacuum （UHV）パフォーマンスモジュールは、プラズマおよび真空補助プロセスにさらに低い圧力環境を提供し、1400°Cまでの低圧、超高温プロセスを可能にします。このモジュールは、シングルクォーツエレメント設計、処理ガスを均等に分配するためのデュアルクォーツ電気シャワーヘッド、および安全性を向上させるための低消費電力ウェーハ発熱体も備えています。TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S ZVFマシンは、CVDおよび拡散プロセスにおいて、優れた温度均一性、高スループット率、およびウェーハ歩留まり向上を半導体業界に提供するよう設計されています。このツールのデュアルチャンバー設計、高圧、高温モジュール、およびオプションのUHVモジュールにより、ステップカバレッジが強化され、プロセスの均一性が向上し、スループット率が向上し、ウェーハの歩留まりが向上し、プロセス制御が向上します。