中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-ZV #9227412 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S-ZVは、先端半導体デバイスの製造用に設計されたアクセサリーを備えた拡散炉です。装置はプラットフォームベースとその上にグラファイトサセプターで構成されています。ベースの両側には、サセプターを上下に持ち上げる2つのモーターがあります。サセプターは円形に成形され、ウェーハ上で均一な加熱が可能です。強制空気循環を利用して、表面全体の温度を均等に保ちます。さらに、システムには、温度を測定し、サセプターの加熱および冷却速度を制御するための光学ピロメータが付属しています。TEL ALPHA-8S-ZVには、最大20個のウェーハを保持できる大きなプロセスチャンバーがあります。外部からの汚染物からユニットを保護するために、それは場所に特別なシーリングマシンを持っています。このシーリングツールは、ウェーハが清潔でほこりのない状態に保つことを保証し、正確な製造プロセスを可能にします。さらに、最大1100°Cの温度範囲があり、さまざまなエッチングおよびアニール処理が可能です。この資産には、ウェーハを汚染する可能性をさらに低減するために定期的に実行できる自動クリーニングサイクルも装備されています。運転中の安全性を確保するため、東京エレクトロンアルファ8S ZVにはインターロックモデルが付属しています。この機能は、蓋が開いている間に炉の偶発的な活性化を防ぎ、潜在的な害からユーザーを保護するために使用されます。炉のふたの融合されたケイ酸の窓は加熱プロセスの間にウェーハの視覚監視を可能にします。この拡散炉はまた、消費電力と排出量を削減するための最先端の機能を備えています。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S-ZVは、純粋な窒素をキャリアガスとして使用していますが、酸素、アルゴン、酸化アルゴンなどのガスを組み合わせて使用しています。これにより、汚染物質が少なくなり、動作に必要なエネルギー量が最小限に抑えられます。さらに、装置はプロセスおよび排気室の両方で均一な温度プロファイルを維持するように設計されています。これにより、ホットスポットの突破を防ぎ、歩留まりと品質が向上します。東京電子ALPHA 8 S ZVは半導体産業で使用されている主要な拡散炉の1つです。それは利用できる最先端の技術のいくつかを作り出すことができる信頼でき、洗練されたシステムを提供します。安全機能、低排出量、優れた温度制御により、信頼性の高い生産で利益を最大化するために探しているあらゆる企業に最適です。