中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-ZV #9093254 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-ZV
ID: 9093254
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1997
TEOS furnace, 8" Controller: TS-4000Z 1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S-ZVは、一般的な産業用および実験室用に設計された拡散炉およびアクセサリーパッケージです。これは、スプリットゾーン制御と複数のホットゾーンパネルを備えた、不可欠なマルチゾーンホットゾーンパネルを備えた垂直炉です。ホットゾーンパネルは、2つまたは3つの独立したゾーンで構成でき、大きなプロセスウィンドウと正確な温度制御を提供します。TEL ALPHA-8S-ZVは、ホットゾーンパネルに堅牢で低メンテナンスのグラファイト発熱体を採用しています。この要素は800°C (1472°F)まで温度を提供し、優秀な温度の均等性を提供します。この装置には、真空システム、石英表示チャンバー、および精密温度制御ユニットも含まれています。精密な温度制御機械はすべての地帯の正確な大気を提供するように設計されています、従ってほとんどの適用のために適した用具を作ります。TOKYO ELECTRON ALPHA 8S ZVは、アニールや拡散から急速な熱処理まで、さまざまな用途に適しています。この資産は、エレクトロニクス製造、半導体デバイス加工、生物・医療研究、触媒・化学反応、材料研究など、さまざまな分野で使用できます。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S ZVには、チューブ炉、家具トレイ、クォーツボート、家具カップ、さまざまなアクセサリーなどの追加部品が付属しています。管の炉はアニールおよび拡散の適用が多数の地帯を要求するとき安定性および均等性を提供するように設計されています。さらに、家具トレイは、ホットゾーンパネルを構成するときに大きなプロセスウィンドウと柔軟性を可能にします。熱電対、光学ピロメーター、光学温度計など、さまざまな温度センサーが8S-ZVで利用できます。これらの検出器は、正確な温度測定と制御のために組み合わせて使用することができます。TOKYO ELECTRON ALPHA-8S-ZVは、優れた精度、プロセスの汎用性、優れた温度均一性を提供する総合機器です。幅広い高温処理用途に最適です。
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