中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-ZV #293625746 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRONアルファ8S-ZV拡散炉は、半導体ウェーハなどの先進的な熱処理用に設計された高性能な装置です。シングルチャンバーユニットで、先進的な象限サイクロン拡散装置を備えています。この炉は統合されたAdvanced Versa-Silフードを備えており、従来のフード設計に伴う空気の乱れを最小限に抑え、沈着バリエーションを減らすように設計されています。この拡散炉は、最大200mmまたは8インチ、厚さ10mmまでのウエハ処理が可能です。高度なZ字型ターゲットドッキングシステムを採用し、ウェーハをクォーツチャンバーに確実にフィットさせます。このユニットは、サーマルコントローラ中にウェーハが安全に保たれ、1200°Cまでの熱均一性に正確にさらされることを保証します。TEL ALPHA-8S-ZV拡散炉には、ウェーハへの粉体蒸着時に優れた制御と精度を提供する高度な粉体フィードマシンも含まれています。この機械はまた部屋の安定した熱環境を維持するためにプロセスの各段階のための温度を調節する自動温度調節器が装備されています。熱処理を維持するために、これらのコントローラを使用して、チャンバーの温度を正確に監視し、必要に応じて熱制御を開始することもできます。TOKYO ELECTRON ALPHA 8S ZV拡散炉は、自動ロードロックと排気ツールを備えています。これにより、ウェーハの処理中に制御された安全なガス環境が保証されます。さらに、この資産は5 x 10-7 torr未満のチャンバーに真空レベルを提供するように設計されています。この拡散炉のプロセス全体は、高度なオンボードコンピュータによってさらに促進され、プロセスの特定のパラメータを自動化するようにプログラムすることができます。このコンピュータを通じて、ユーザーは堆積率を設定し、熱環境を確認し、モデルに関連する他のプロセスを監視および制御することができます。全体として、TEL Alpha 8S-ZV拡散炉は、半導体材料の高精度熱処理のための先進的で信頼性の高い堅牢な制御装置です。自動化されたシステムと高度な象限サイクロン拡散技術により、ユーザーはウェーハと材料が信頼性が高く、一貫した正確な熱処理を受けていることを保証できます。