中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S ZAN #9227413 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S ZAN 9"拡散炉は、半導体・MEMS加工用に設計された強力で耐久性のある工具です。そのユニークなデザインは、すべてのプロセスターゲットにわたって優れた均一性、安定性、均一な温度制御を提供します。それに正確で、反復可能な結果を保障する優秀なプロセス制御装置があります。TEL Alpha 8S ZAN 9"は、石英製のスプリットロードチャンバーと強力な3ゾーン加熱システムを備えています。3ゾーン加熱ユニットは、2つの水平ゾーンと1つの垂直ゾーンで構成されています。水平ゾーンはより均一な温度を提供し、垂直ゾーンはより正確な温度制御を提供します。クォーツライニングされたスプリットロードチャンバーにより、リード損失を低減し、製品品質を向上させます。また、より大きなウェーハとより多くのチップを処理することを可能にする大きな作業領域を持っています。さらに、あるゾーンから別のゾーンへの簡単な切り替えを可能にするクイックチェンジベルスタイルのフューザーを備えています。東京電子アルファ8S-ZAN 9"拡散炉は、すべてのプロセスパラメータを正確に制御できる自動制御と手動制御の両方を備えています。その温度安定性と精度もトップノッチです。そのデジタルPIDのコントローラーは最も近い0。1°Cに温度の精密な制御を可能にします。部屋の温度は1°Cから1200°Cに調節することができ上部地帯の温度は200°Cから1200°Cに調節可能です。シリコン、化合物半導体、窒化物、酸化物など多くの材料を処理するために使用できます。TEL ALPHA 8S-ZAN 9"拡散炉には、簡単なセットアップと操作を容易にするユーザーフレンドリーな機能も備えています。それに順番に、滑らかなバルクローディングプロセスを促進する急速なインゴットの位置を可能にする容易に調節可能な隔壁があります。それにまた衝撃か電気危険からユーザーを保護する高度の電気安全機械があります。堅牢で耐久性に優れたTEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-ZAN 9"拡散炉は、あらゆる加工環境に最適です。効率と優れた性能により、アルファ8S ZAN 9"拡散炉はMEMSおよび半導体加工に最適です。その信頼性と効率的な操作と正確な温度制御は、優れた結果を提供し、そのクイックチェンジベルスタイルのフューザーは、操作を手間をかけずにします。最後に、ユーザーフレンドリーな機能により、あらゆるスキルレベルのユーザーが効率的に操作できるようになります。
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