中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-ZA #9227420 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S-ZAは、半導体製造に使用される信頼性の高い拡散炉およびアクセサリです。ユニークな設計により、コンピュータチップなどのシリコン基板ウェハを迅速かつ正確に作成できます。この機械の内部には、ドーパント素子を基板に拡散させることができる完璧な真空条件の近くに保持されたチャンバーがあります。アニーリングチャンバーを備え、電子バッチシステム（EBS）を備えており、チャンバー内のフラックス、温度、圧力の同期を容易にします。必要な条件を作り出すために使用される真空は、熱ポンプと化学ポンプの両方の組み合わせによって達成されます。具体的には、拡散炉は油拡散ポンプとクライオポンプを使用して、固体とガスの両方の部分的な圧力をシステムから除去します。TEL Alpha 8S-ZA独自の設計により、ユーザーは一様な温度を維持しながら複数のプロセスを一度に実行できます。ウェーハ加工時の完全な高精度キャリブレーション装置により、ずれの問題を最小限に抑えることができます。その結果、この炉はリソグラフィープロセス全体の優れた制御を提供し、最適な表面およびバルク終端を達成することができます。その他にも、先進的な基板冷却システム、複数層の成膜とエッチングを同時に行える強力なプラズマ源、迅速かつ簡単なメンテナンスが特徴です。この拡散炉は、信頼性とエネルギー効率の両方を考慮して設計されています。その使いやすいインターフェイスはまた、任意のプロセスを実行するために必要な時間の量を大幅に削減します。東京電子ALPHA-8S-ZAは、信頼性の高い効率的な拡散炉を必要とするあらゆる用途に最適です。半導体研究、部品製造、技術開発に最適です。その精密で信頼性の高い操作は、業界の多くの人から認識を得ています。ALPHA-8S-ZAの高品質コンポーネント、最先端の精密計装、高度な体系的機能により、あらゆる高レベル拡散炉プロジェクトに最適です。