中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-ZA #293776298 を販売中
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ID: 293776298
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1997
Furnace, 6"-8"
Process: O2 Anneal, dry oxide
(5) Zone heaters
Wafer shape: SNNF
Wafer cassette: Plastic, 8"
(150) Product wafers
Gas capabilities: N2, O2
Paddle control thermocouple
Place of control T/C: Between outer tube and inner tube
TS4000Z System controller
Reserved batch operation
(5) End effectors
Maximum temperature: 1100°C
No SMIF Interface
No N2 Load lock
No boat rotation
1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRONアルファ8S-ZA拡散炉は半導体産業において画期的な製品です。高度なプロセス制御機能と高度な機能により設計されており、信頼性と高性能な部品の製造に最適です。TEL Alpha 8S-ZAは、高度なアルミナ繊維断熱材を使用した水平タイプの炉で、複雑なものの量産に最適な超精密パターニングチャンバーを備えています。この装置には、温度制御を強化するための加熱圧力チャンバ、グラファイト高周波誘導電力を使用した中断放射加熱、および最適な熱制御のためのユニークな加熱チャンバが含まれています。さらに、炉には15インチのタッチLCDディスプレイと簡単な操作と制御のためのPCインターフェイスが付属しています。東京電子ALPHA-8S-ZAのグラファイト高周波誘導電力は、Bluetoothデータ伝送を使用して遠隔地に到達することにより、正確かつ加熱カバレッジを備え、最大800Wの電力を供給できます。加熱された圧力室と中断された放射加熱により、炉は短時間で高温安定性で所望の温度を維持することができます。ALPHA-8S-ZAはまた、2レベルの浄化システムのおかげで、迅速かつ簡単な洗浄機能を備えています。最初のレベルは不活性ガスの大気、特に不活性アルゴンの大気であり、炉の中の残りの汚染物質を安全に除去します。第二のレベルは、真空システムだけでなく、内部部品を清潔に保ち、凝縮物から解放するのに役立つ化学気化システムです。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8S-ZA拡散炉は、窒化物、化学蒸着(CVD)、金属密封炉などの付加的なアクセサリーを備え、カスタマイズ性に優れています。信頼性が高く、一貫性があり、効果的で、精密で優れた熱制御を提供し、生産時間を40%短縮します。この装置は、その高度な機能で業界から広く評価されており、半導体製造に最適です。
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