中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #9297064 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRONアルファ8SCN拡散炉とその付属品は、半導体およびMEMSデバイス製造プロセスの範囲に使用できます。装置は、最適なプロセス結果を得るために、チャンバー内の時間、温度、大気を正確かつ正確に制御することができます。これは、1280°Cまでの温度を達成することができ、低温、急速サーマルアニーリング（RTA）、および高温機能のためのいくつかのオプションを提供しています。TEL Alpha 8SCNは、操作を簡素化するワンタッチでユーザーフレンドリーなHMI （Human Machine Interface）と、比類のないスループットとプロセス最適化のための高速低温ランプレート機能を提供します。炉の中の均一な温度分布は、プロセスの均一性を可能にする非常に小さな領域での結果。この均一な温度分布を効率的に実現し、多くの同様のシステムよりも低い運用コストでシステムを使用することができます。このユニットには、室内の酸素レベルを継続的に監視するIn-Situ Oxygen Measurement Machine （FIMOS-2）など、安全で正確で再現性のある測定を保証するさまざまなアクセサリーが付属しています。さらに、Coater ERDR （Edge Retention Device）やECLIPSEデータ収集ツールなどの統合ITソリューションにより、プロセスパラメータをリアルタイムで分析できます。TOKYO ELECTRON Alpha 8SCNは、基板をチップキャリアに積み込み、ウェハカセットシェーカーで炉内に積み込むことができる大容量の内蔵設計です。その他の標準機能としては、電子圧力バルブ、バルブの逆転による基板損失を防止するシャッター安全機能、自動冷却ファン、低騒音環境アセットなどがあります。これにより、長時間安全で効率的な操作が保証されます。Alpha 8SCNは、今日の半導体およびMEMSアプリケーションの多くに理想的なマシンであり、最高品質の結果を保証するために高度な機能を備えて設計されています。正確な温度制御、高速ランプレート機能、リアルタイム測定および分析、統合されたITソリューションにより、多くの技術プロセスにおいて信頼性が高く効率的な選択肢となります。