中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #9281905 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRONアルファ8S-Z拡散炉は、先端材料の精密加工に使用される革新的で信頼性の高い熱処理装置です。機械は酸化および沈殿を含む金属の基質の有効で、精密な熱処理のために設計されています。この炉は2つの交換可能なチャンバー、ユニークなワンプッシュロード/アンロード装置、および完全にバランスの取れた温度の均一性のための洗練された制御システムを備えています。TEL ALPHA 8SZ炉は、絶縁材で密閉されたステンレス構造の外殻で構成されています。この構造は高い信頼性および耐久性を保障します。2つの交換可能なチャンバは、同じ負荷内の複数の基板の同じ熱処理を可能にするユニークな設計で汎用性の高い操作を提供します。また、1。2mm厚の石英窓を2つ備えており、IRサーモグラフィーによる均一で正確な温度測定が可能です。ユニークなワンプッシュロード/アンロードユニットは、同じチャンバー内で中断することなく基板の迅速かつ簡単にロードおよびアンロードを可能にすることにより、生産性を向上させます。基板は耐熱トレイに置かれ、スロットを介して炉に押し込まれます。工程時間を最小限に抑え、再現性の高い熱処理が可能です。高性能センサを使用することで、炉全体の温度を均一に保ちます。このツールは、迅速な温度変化に対応することができ、一貫した温度を維持することができます。調節可能なガス流量および調節可能なガス圧力は炉を通して非常に正確な温度の均等性を達成するのを助けます。東京電子ALPHA 8 S-Z拡散炉は、温度の均一性を正確に制御する必要がある熱処理工程に最適です。その強力な機能と信頼性の高い構造は、優れた温度の均一性、生産性の向上、および熱処理品質と精度の向上を保証します。