中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #9281900 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Zは、半導体デバイス製造など、さまざまな用途に対応する高性能拡散・酸化炉を提供する先進的なツールです。炉は高真空の部屋に囲まれた内部の部屋を備え、2500°Cの最高温度に達することができます。プラズマ源、排ガス装置、ゼロエア漏れ装置を備えています。この炉は、8ゾーン制御機能を備えており、各ゾーンのin situ調整可能な電源設定により、均一または選択的な処理が可能です。ウェーハ用のローダーとアンローダー、自動積み下ろし用の8ポケットディストリビューターも装備しています。TEL ALPHA 8SZ拡散炉には、PECVD（プラズマ強化化学蒸着）、スパッタリング、エピタキシャル増殖など、さまざまなプロセスを実行できるさまざまなアクセサリーも含まれています。これらのアクセサリーには、クリーニング、予熱、アニールなどの熱処理に使用できる前処理チャンバーと、処理後のウェーハを室温まで低減する冷却チャンバーが含まれます。また、均一性を制御する温度センサーを備えたウェハプローブを備えています。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Zは、温度が設定値を超えた場合の損傷を防止するために、サーマルリミットスイッチとガスシャットオフバルブを備えているため、高い安全性を備えています。また、放射線と炎の保護機能も備えています。また、温度センサを介して均一な室温を監視し、ガス圧力を調節するための大気圧力計を使用して、高精度の炉を構築しています。システムには、プロセスのパラメータを監視するためのユニットコントロールセンターソフトウェアが統合されています。Alpha 8S-Zは、高度な拡散および酸化アプローチのニーズを満たすように設計された強力で信頼性の高いマシンで、直感的なソフトウェアとさまざまな安全機能を備えたユーザーフレンドリーです。それはいろいろな適用と良質を作り出すための理想的な選択です。