中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #9281895 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Zは、幅広い半導体デバイス製造プロセスで信頼性の高い長寿命サービスを提供するために設計された拡散炉およびアクセサリです。この拡散炉は、ユーザーフレンドリーな8 インチLCDタッチパネルディスプレイで、非常に効率的でプログラムしやすいコンパクトな機器です。8S-Zモデルは、パルスクリーンおよびシングルウエハ機能、ならびに様々な加熱制御プロセスのための高精度温度制御メカニズムを備えています。TEL ALPHA 8SZは、ガス流量を正確に制御する独自のプロセッサと強力なマスフローコントローラを提供し、優れた再現性と製品品質を提供します。クリーンレシピを設定し、他のシステムとの効率的な通信を維持するための様々な外部入出力信号を備えています。また、リアルタイムデータロギングを備えた自動監視ユニットを備えており、迅速かつ正確な機械診断を可能にし、問題の迅速な解決とダウンタイムの削減を可能にします。東京エレクトロンアルファ8 S-Zは、耐久性を高め、クリーンな作業環境を確保するために、CFCフリーのステンレス製、デュアル蓋の構造も提供しています。空気漏れを低減するために最適な気密性を維持し、高温の均一性と製品品質を実現します。メンテナンス性の低い設計と構造により、費用対効果が高く、高度な環境保護対策により、SEMI S2およびその他の安全基準に準拠してツールを動作させることができます。この拡散炉とアクセサリーには、真空ポンプと窒素パージが装備されており、不活性で無酸素環境を確保しています。その良質のフード材料は酸化を防ぐように特に設計されています、多くのコンプライアンスのスキームの要求を満たします。この8S-Zは、ウェーハやカセットの積み下ろし用の水冷治具も提供しており、短い積載時間と半導体部品の正確な温度制御を可能にします。また、ALPHA 8 S Zは、部品のメンテナンスを延長し、高使用サイクルの最大限の信頼性と公差のための高性能設計を提供します。24時間365日、低ノイズレベルで省エネ運転を実現し、資源や環境負荷の低減に貢献します。さらに、高度なリニアヒートアップ機能により、広い測定範囲にわたって優れた温度制御を維持し、再現性に優れています。この拡散炉とアクセサリーは、多数の製造プロセスで優れた性能を提供するように設計されています。