中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #9281891 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Zは、半導体チップ加工に使用される拡散炉です。この炉は、チップのシリコン基板をエッチングするために使用されるドライエッチング装置の一部です。TEL ALPHA 8SZは、19,000°Cまで温度に達することができる画期的な暖房設計を備えています。また、プロセスをリアルタイムで監視するための高解像度CCDカメラを装備しています。さらに、この炉はオートレベラーと統合されたEMIシールドを備えており、正確な温度制御が可能です。東京電子ALPHA 8 S-Zは、8インチ以上の基板に対応できる大型のインナーチャンバーを備えています。チャンバーは、溶融石英から構築され、エッチングと拡散効率を最大化するように設計されています。また、チップ加工に必要な高温に到達できる高性能加熱システムを搭載しています。このユニットは、断熱セラミックスで覆われた熱室に基づいており、チャンバー内の均一な温度分布を確保するのに役立ちます。さらに、機械には過熱やその他の安全関連の問題を防ぐための安全過負荷保護が装備されています。精密で一貫性のあるエッチングを実現するため、TEL ALPHA 8 S-Zには高度なパーティクルデリバリーツールが搭載されています。この資産は、所望のエッチングガスを正確かつ一貫して導入することができます。このモデルには、正確な粒子供給を確保するための走査型電子顕微鏡（SEM）が含まれています。さらに、エッチングと拡散プロセスの効率を高めるために、幅広いアクセサリーを備えています。ALPHA 8 S Zは、欠陥解析やパッチレベルの修理、完成したハードウェアのテストにも使用できます。完全な精度を確保するために、炉には高解像度のビジュアルを提供するために統合された光学顕微鏡が装備されています。さらに、チャンバーはRF干渉を低減するように設計されており、さらにノイズを低減するために電磁干渉シールドが装備されています。全体的に、TEL Alpha 8S-Zはチップ加工に使用される高度な拡散炉です。絶縁されたセラミックで覆われた熱室と高度な粒子供給装置を提供し、正確で効率的なエッチングと拡散を保証します。また、リアルタイム観察用の高解像度CCDカメラを搭載し、高精度・高性能を実現する各種アクセサリを搭載しています。