中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293811679 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRONアルファ8S-Zは、精密な試料調製・分析のための拡散炉・アクセサリーです。この装置を使用すると、さまざまな薄膜成膜、アニール、ドーピングプロセスを正確に準備し、実行することができます。このシステムは、生産、研究開発、研究、および実験用途に適しています。TEL ALPHA 8SZはメインフレームとロードロックチャンバーで構成されています。メインフレームには8インチウェーハTransfer-ELockが搭載されており、カセット・ツー・カセットとロードロック・ツー・ロードロックの両方に対応しているため、迅速かつ簡単なサンプル調製が可能です。さらに、メインフレームには特別に設計された高周波RF発電機、垂直に取り付けられた酸素供給ユニット、窒素供給機、排気工具が含まれています。ロードロックチャンバーは、プレバキュームチャンバー、メインチャンバー、ポストバキュームチャンバー間の信頼性の高いサンプル転送を保証するために設計されており、ウェーハ表面を汚染から保護します。24ポートバックサイドのVent-ELockを搭載しており、メインフレームへのウェーハ転送に使用できます。このチャンバーには、ウェーハ表面をきれいにするために使用できるプラズマ源も含まれています。また、Vent-ELockは熱電対をサポートした温度測定も可能です。ウェーハ加工資産は、薄膜成膜、アニール、ドーピング用途にさまざまなプロセスを提供します。熱および血しょうプロセスは両方沈殿、アニーリングおよびドーピングに使用することができます。この熱処理は、窒素、アルゴン、酸素、水素、アンモニアなど、さまざまなガスを使用することができます。自動化された熱処理制御により、最高品質の薄膜蒸着が実現されます。このモデルは、1000°Cまでの熱アニーリングにも使用でき、さまざまな炉オプションが装備されているため、幅広いアニーリング温度と相対圧力を可能にします。さらに、ウェーハ電極と加熱ガス排出装置を備え、高度なウェーハドーピングプロセスを実現しています。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Zは、高スループット動作、信頼性の高いサンプル転送、優れたプロセス制御を提供します。薄膜成膜、アニーリング、ドーピングプロセスにおいて、最も要求の厳しい要件を満たす高性能システムです。