中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293811678 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z
ID: 293811678
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2002
Furnace, 8" Process: SOG Cure 2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Zは、半導体業界で最も高性能な拡散炉の一つであり、半導体製造分野において重要な進歩を遂げるプラットフォームとなっています。カスタマイズ可能なチャンバー設計、高度なプロセス制御機能、優れたプロセス均一性を備えたTEL ALPHA 8SZは、重要な半導体デバイスの製造および研究アプリケーションに最適なソリューションです。この蒸着チャンバは革新的な設計で均一性を高め、8S-Zは可変圧力制御を提供し、プロセスパラメータの制御を強化します。これにより、高価なマスク変更を行わずに、成膜によりフィルム特性を最適化することができます。さらに、拡散炉には包括的なプロセスデータ収集機能が搭載されており、ユーザーはリアルタイムでプロセスデータを追跡、監視、分析し、最高の品質結果を一貫して確保できます。東京電子ALPHA 8 S-Zには、ガス流量を正確に制御できる低流量ガス管理システムが搭載されています。これにより、信頼性と再現性の高い結果が保証されます。さらに、プラスまたはマイナス5°Cの狭い範囲でチャンバ温度を維持する高度な冷却システムを提供し、重要なデバイスの生産アプリケーションに最適です。TEL ALPHA 8 S Zは、Locus Ops PC/PLCインターフェイスを備えた直感的なユーザーインターフェイスを提供し、ユーザーが正確なプロセス制御を実行することができます。これにより、廃棄物の削減、効率の向上、品質の最適化に役立ちます。さらに、この8S-Zには、再現可能なハンドリングおよび動的膜厚プロファイル測定用の高度なウェハ転送システムが含まれており、重要なデバイス製造プロセスに最適です。その結果、ALPHA 8 S-Zは、半導体デバイス製造プロセスで最高の品質と歩留まりを達成したい人に最適な選択肢です。ユーザーフレンドリーなインターフェイス、カスタマイズ可能なチャンバー設計、高度なプロセス制御機能、優れたプロセス均一性を備えたAlpha 8S-Zは、生産および研究アプリケーションに従事する人々に理想的なソリューションです。
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