中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293806493 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Zは、半導体製造などの薄膜用途向けに設計された水平分割デュアルチャンバーを備えた拡散炉です。拡散炉にはアンダーカットとラウンドエッジの再設計が施され、薄膜蒸着プロセスに適した± 1°C以内に温度を制御します。TEL ALPHA 8SZには最適化された空気循環装置が装備されており、温度が室内全体で均等かつ安定して維持されます。さらに、ウェーハの積み降ろしの均一性を確保するツインロッドエアクラッチシステムと、最大52個のウェーハを保持できる大容量サンプルカセットを搭載しています。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SZの標準付属品は、リモートコントロールモニター、CCDイメージプロセッサ、排気ガスモニターです。CCDイメージプロセッサで温度を正確に監視できるため、モニターを使用して炉の動作を改善できます。一方、排気ガスモニターは、排気ガスの流量、濃度、総ガス量を測定するために使用できます。TEL Alpha 8S-Zにはリモートモニタリングユニットが内蔵されており、ユーザーが場所から離れていても、炉が常に稼働していることを保証します。さらに、安全性を確保するために、アルファ8S-Zにはイオナイザー、排気フィルター、フラッシュ排気装置が取り付けられています。イオナイザーは塵の粒子を取除きます、排気フィルターは排気管の汚染物の蓄積を防ぎます。最後に、フラッシュエキゾーストツールは、炉に可燃性ガスの蓄積を防ぎ、爆発につながる可能性があります。これらの機能に加えて、ALPHA 8 S-Zには、ユーザーの安全を確保するための安全ロック資産も付属しています。TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Zは、水平分割されたデュアルチャンバー、最適化された空気循環モデル、ツインロッドエアクラッチ機器、内蔵の遠隔監視システム、さまざまなアクセサリを備えた先進の薄膜蒸着炉で、ユーザーに優れた性能と安全性を提供します。