中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293794329 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Zは、半導体資本装置のリーディングプロバイダーであるTELが製造する300mmプラズマエッチングおよび沈着拡散炉です。これは、温度の均一な分布を提供し、ナノメートルスケールの精度要件に設計されています。この装置は、高度な薄膜構造と部品を開発するお客様のニーズに合わせて特別に設計されています。TEL ALPHA 8SZは、超精密な薄膜加工とナノメートルスケール精度を可能にする高度な高真空環境を特長としています。温度の均一性は、均一なプロセス条件を提供し、プロセスゾーンで安定した温度源を提供します。装置には、装置の全体的な性能とともに、個々のプロセスの両方を監視する自動熱制御システムがあります。このユニットは、処理ニーズを完全に自動化し、結果の品質を保証します。拡散炉には、パルスマグネトロンスパッタリング、電子サイクロトロン共鳴スパッタイオンメッキ、無線周波数プラズマスパッタ蒸着など、複数の電源オプションが装備されています。また、電源ごとに独立した電源レギュレーションが可能です。東京電子ALPHA 8 S-Zのコンパクト設計は、柔軟性と可搬性を可能にし、安全性を最大限に高める複数の安全システムを内蔵しています。このマシンは、生産性を向上させ、ダウンタイムを削減するために、ターゲットホルダー、サンプルホルダー、洪水シールド、ウェハホルダー、冷却排気管などのサポートアクセサリーの範囲が含まれています。アクセサリーの選択は、アプリケーションの要件に応じてツールをカスタマイズするための最大の柔軟性を可能にします。最後に、TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Zには、サンプル結果を分析し、モデル性能を最適化するためのオプションのサンプル分析アセット（QMS-6000シリーズ）が用意されています。要するに、TEL Alpha 8S-Zは、高真空環境でナノメートル精密処理を提供する高度な拡散炉とアクセサリです。さまざまな電源オプション、柔軟性を高めるアクセサリ、オプションのサンプル分析装置が含まれています。このシステムは、高度な薄膜構造と部品の開発を大幅に簡素化します。