中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293794324 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRONアルファ8S-Z拡散炉は、シリコン、ゲルマニウム、ガリウム硫化物などの金属の拡散に使用される装置です。ウェーハ、LEDチップ、MEMS、集積回路部品の製造に使用されます。TEL ALPHA 8SZ拡散炉は、拡散プロセス中に繊細な部品を均一に加熱して保護する機能を提供する高性能ツールです。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Zには4つのプログラム可能な熱帯があり、用途に合わせて各ゾーンの温度を個別に調整することができます。その温度範囲は0。1°Cの決断の50から900°Cにあります。4つの酸素センサは、チャンバー内の酸素濃度を監視することにより、O2レベルを正確に制御します。温度制御は、0〜1000°Cの広い範囲でS型熱電対によって提供されます。ALPHA 8SZ拡散炉は、ストリップやリボンウェーハの拡散に適した垂直タイプの機械です。それは自動サセプターの持ち上がるメカニズムと来、サセプターのサイズはユーザーの必要性によってカスタマイズ可能です。また、拡散時にサンプルを保持する加熱されたサンプルキャリアが含まれており、サンプルは容易なローディングとアンロードのために所定の位置にロールされます。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SZは、ウェーハ拡散によって発生する異常な炎を感知し、直ちに拡散プロセスを終了する火炎検出システムなどの安全機能を備えています。また、必要に応じてプロセスを停止するための緊急スイッチと、停電時の継続的な動作を確保するための緊急電源があります。TEL ALPHA 8 S-Z拡散炉は耐久性とユーザーフレンドリーで、7インチの直感的なタッチスクリーンパネルを備えているため、レシピの設定、データの監視、必要に応じてパラメータの調整が簡単です。データをダウンロードしたり、ソフトウェアを更新するためのUSBポートが装備されています。メンテナンスやトラブルシューティングに役立つTEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S Zには、アラームやステータスを遠隔監視するためのアラームI/Oポートが付属しており、ソフトウェアには障害の診断に役立つグラフィカル表示が装備されています。東京電子ALPHA 8SZ拡散炉は、次世代半導体製品の開発に必要なプロセスにおいて信頼性が高く、十分に構築されています。高出力、高精度制御、安全機能を備えた東京エレクトロンアルファ8S-Z拡散炉は、あらゆる作業に最適です。