中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293759915 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Zは、最適な効率と信頼性を追求した拡散炉とアクセサリーです。自動ガス流量制御装置を搭載し、拡散プロセスでウェーハ表面全体に均一な温度分布を提供します。また、特殊な高度なシールドシステムを使用して、ウエハーの発生や汚染を防ぎます。TEL ALPHA 8SZは、簡単で信頼性の高い操作を保証する幅広い機能を提供します。東京電子ALPHA 8 S-Zは、大きな正方形のチャンバーを持ち、高速温度上昇と冷却速度の2段階プロセスを利用しています。このチャンバーには高度なガス流量制御ユニットが装備されており、均一なガス分布を確保し、ウエハーの発生を防ぎ、汚染から保護します。さらに、この炉は0〜1000°Cの幅広い温度設定を備えています。また、ウェーハ表面全体に最適な熱分布を実現する高精度温度制御機を搭載しています。拡散炉には、温度制御ツール、いくつかのガス源、温度記録装置、冷却資産、安全機能、その他の多くの機能などのアクセサリも装備されています。また、温度がチャンバー全体に均等に分布していることを確認するためのガス分布モデルと高度な冷却機構が付属しています。チャンバーはまた、拡散プロセスの副産物を空気中になり、ウェーハに入る前に洗浄するための高度なスクラバーを備えています。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Zは、精密拡散プロセスのための強力なツールです。ウェーハ表面全体にわたって信頼性と均一な温度を提供するだけでなく、チャンバーを加熱して冷却するための高速性も備えています。炉に同梱されている付属品は、機器の簡単かつ効率的な操作を可能にします。特徴の組合せはALPHA 8 S-Zをさまざまな挑戦的な拡散プロセスのための理想的な用具にします。