中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293759914 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Zは、高度な集積回路（IC）の製造に使用される拡散炉およびアクセサリーです。トップローディングロボットを内蔵したTEL ALPHA 8SZは、迅速かつ正確なウェハローディングとアンロードのために設計されています。この効率的なツールにより、スループットが向上し、汚染や破壊の可能性が低減されます。東京エレクトロンALPHA 8 S-Zは、温度均一性を向上させる低温・高温加熱炉を備え、将来のIC開発に柔軟な容量を提供します。拡散炉自体は、精密ヒーター、エネルギー再生装置（ERS）、差動熱流量制御などの高度な技術で構築されています。ERSシステムは、消費電力を削減し、エネルギー効率を向上させるように設計されていますが、差動熱流量制御ユニットは、ウェーハのより均一な加熱と冷却を実現し、非均一性を低減し、スループットを向上させます。ALPHA 8 S-Zはマルチガス射出機能も備えており、様々なガスを統合することができます。これらのガスは広範囲の温度に注入することができ、拡散プロセスの均一性を高めるために複数のポイントから持ち込むことができます。また、均一なガスフローマシンによって温度の均一性が向上しており、フラッピングや乱れのないガスを均等に供給することができます。最後に、TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S Zには350mmウェーハ処理ツールが搭載されています。機械的および空圧的なハンドリング資産は、ウェーハの積み下ろしによる振動を最小限に抑え、基板搬送工程で発生する歪みを低減します。ハンドリングモデルのもう1つの利点は、最適な材料出力処理を可能にすることです。要するに、ALPHA 8SZは、高効率IC製造における最高レベルの効率のための優れた性能、正確な温度レベル、および改善されたガス噴射を提供する拡散炉およびアクセサリーです。TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Zの優れた温度均一性、ガス注入の改善、高度なモーションコントロールにより、最先端の集積回路を製造する半導体デバイスメーカーにとって理想的なツールとなります。