中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293704452 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Zは、ウエハ加工用の拡散炉です。優れたプロセス制御と均一性を確保しつつ、省電力化への影響を低減し、最高レベルの生産性を実現するように設計されています。この8S-Zは、酸化物フィルム、薄い酸化物フィルム、ポリシリコンエッチング、窒化物処理、およびその他の関連材料の浄化プロセスのための強力な熱源と最適な雰囲気を提供します。機械は1。8メートルの長さと0。3メートルの幅の石英パイプが装備されており、8S-Z用のホットゾーンが取り付けられています。このホットゾーンの隔離壁は、最大1250°Cの温度範囲を提供します。このマシンには、ホットゾーン内の温度とクォーツパイプ下部の熱電対を制御する独自のソフトウェアであるTEL-ATOSも装備されています。これにより、均一で反復可能な拡散プロセスが保証されます。機械はまた自己口径測定である3つの独立したヒーターと合います。それは効果的により大きい表面積の上のホットゾーンの温度を制御し、拡散プロセスの均等性を保障できます。また、オートオフセットメカニズムが改善され、オフセット時間が短縮され、プロセスに集中する時間が増えるように設計されています。Cタイプの構造により、圧力能力の向上とアクセスの向上により、WIの均一性が向上し、迅速かつ正確な薄膜プロセスが可能になります。また、8S-Zには統合されたオートメーションおよび監視装置（AMS）があり、同じ制御システムを持つ複数のマシンを効率的に制御できます。これにより、拡散プロセスの効率とスループットを最大化できます。このユニットは、アラームに基づいてプロセスステータスを報告することができます。機械はまた異常な状態を検出し、オペレータに警報を送ることができます。8S-Zには予防的なメンテナンスとデータロギング機能も装備されており、ダウンタイムの削減と効率的なプロセス制御を実現します。これにより、機械のメンテナンスが容易になり、潜在的な問題を正確に監視および検出できます。この8S-Zは、断熱性を向上させるための二重壁フレームも備えています。これにより、消費電力を削減しながら、堅牢なボディサポートと安全な動作を提供します。この機能は、騒音や振動レベルを低減するのにも役立ち、機械をより快適に使用することができます。全体として、TEL ALPHA 8SZは、あらゆる種類のウェーハ処理タスクを効果的に処理できる最先端の拡散炉です。統合された制御システムと、最適なプロセス制御と均一性を提供する多数の機能を備えた高信頼性です。
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