中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293704451 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Zは、半導体を安全かつ正確に製造するために、拡散プロセスの温度を正確に制御するために設計された拡散炉およびアクセサリです。半導体加工、薄膜成膜、アニール用途に最適です。熱隔離されたプロセスチューブ、インターフェース制御ユニット、および統合された高度な光学温度測定装置を備えています。インターフェースコントロールユニットには、さまざまなプロセスのための4つの独立してプログラム可能なプログラムがあり、炉の状態も監視します。統合された高度な光学温度測定システムは、高精度のプロセスチューブの温度を測定することができ、測定値に基づいて炉の温度を調整するようにプログラムすることができます。TEL ALPHA 8SZは、最大1350°Cで動作可能で、2段の水晶管を使用し、アルミナ断熱板を備えています。この保温プレートは、サンプルウェーハ間の熱を維持し、チューブを過熱から守り、望ましくない状況を作り出すことができます。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Zユニットは、マルチゾーン機能、最大6つの制御ゾーン、最大14個のウエハソースを備えています。手動ロックアウト機能を備えており、緊急時にプロセスチャンバーへのアクセスを防止します。また、クローズドループ制御機、温度ランプアップタイマー、電源障害保護などの高度な機能も備えています。クローズドループ制御ツールは、炉コントローラと連携して動作し、レシピのプログラミングされたプロファイルに従って温度を調整するのに役立ちます。温度上昇タイマーは、プロセスが進むべき最大温度設定を設定するのに役立ちます。最後に、電源障害保護は、電源が停止した場合でも炉が作動し続けるようにするのに役立ちます。Alpha 8S-Zは操作が簡単で、読みやすいディスプレイを備えています。また、各プロセスを簡単に制御するための直感的な制御モデルを備えています。制御アプリケーションを使用すると、さまざまなレベルの制御を設定でき、プロセスを段階的に監視できます。装置はまた非常に信頼でき、損傷からシステムを保護するために安全機能の広い範囲があります。
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