中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293642584 を販売中
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ID: 293642584
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1996
Furnace, 8"
Process: Pyro
Wafer: Flat zone type
Gases configuration:
Gas supply:
Gas name / Pressure / Connection method / Unit
PN2 / 0.2 Mpa / 1/4" UJR / Utility box
O2 / 0.15 Mpa / 1/4" UJR / Utility box
H2 / 0.15 Mpa / 1/4" UJR / Utility box
Exhaust:
Type of Exhaust / Flow rate
Scavenger exhaust / 3 m³/min
Process exhaust / 1 m³/min
Gas room exhaust / 1 m³/min
Cooling water:
Gas name / Pressure / Flow rate / Connection method / Used for
Furnace unit / 5 Kg/cm² / 15 / 3/4" SWG / Heater, flange
Power supply:
UPS: AC 120 V, Single Phase, 5 kW (Controller)
Power: 208 V, 3 Phase, 30 kW (Heater chamber)
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Zは、半導体研究生産のために設計された拡散炉および関連アクセサリーです。最大1000°Cの高温が可能で、蒸着などの高度な工程での基板使用が可能です。8S-Zには、高度な反応チャンバー設計が含まれており、最適なガスの流れと温度の均一性を可能にします。この8S-Zは、集積回路生産、微細加工、MEMSなど、さまざまな分野の高度な研究に最適です。それは速いアニーリングおよび低温のドーピングの優秀な性能を提供します。この8S-Zは、反応室圧力を5レベル制御することで、プロセスパラメータを正確に制御することができます。これは、ユーザーが簡単にメインチャンバーに直接基板をロードすることができますトップローディングドアを持っています。TEL ALPHA 8SZは、ユーザーがニーズに応じて使用できる包括的なアクセサリーを提供しています。これらには、トランスファーローダー、シャトル、バスケット、特別なファンと冷風機器を備えたクーラークエンチアセンブリが含まれます。これにより、処理中に炉が冷却されたままになり、システム、基板、およびユーザーの機器への損傷を防ぐことができます。8S-Zには、Level-II Computer Control Unit （CCS）もあります。この機械はユーザーが大きい精密の炉の変数を監視し、プログラムすることを可能にします。異常が検出された場合に自動的に炉を遮断する安全機能も備えています。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Zは、優れた温度制御と均一性、信頼性の高い安全機能を備えた中距離拡散炉です。半導体製造、微細加工などの先進的な研究に最適なアクセサリーを多数取り揃えています。
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