中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293638474 を販売中
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ID: 293638474
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2001
Diffusion furnace, 8"
CIM: SECS, GEM
Wafer transfer system
(2) SMIF
Gas utility cabinet
RCU System
Fast thermo oxidation process
CIM: SECS, GEM
Power unit
2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Zは、TEL (TOKYO ELECTRON)が製造する拡散炉・アクセサリーです。それは表面拡散のプロセスに関連するさまざまな適用のために設計されています。半導体製造のための強力なツールであり、熱酸化、拡散、蒸発、コーティング、レーザーアニーリングなど、さまざまな半導体プロセスに使用できます。TEL ALPHA 8SZ拡散炉を使用して、拡散プロセスに最適な温度環境を作成できます。最高温度1200°Cに達することができる2つの高温オーブンが装備されています。正確な温度と空気の流れ制御は、基板加熱と冷却の要件の広い範囲を可能にし、東京エレクトロンアルファ8 S-Zは、フォトマスクパターンから酸化およびアニールまで、さまざまなプロセスに適しています。さらに、オプションの低温チャンバーを備えており、温度に敏感な材料の処理が可能です。このチャンバーは-10°Cまでの温度に対応でき、レーザアニーリングプロセスや液相エピタキシー(LPE)に使用できます。TEL ALPHA 8 S Z拡散炉はユーザーフレンドリーなインターフェースで設計されており、簡単かつ安全に操作できます。直感的なコントロールパネルを使用して、800°Cまでの温度を設定し、炉の状態を監視できます。グラフィカルディスプレイは、設定とプログラムのナビゲーションを簡素化し、警告と障害ステータスを提供します。ALPHA 8SZのその他の機能には、ガスシャットオフスイッチ、過熱保護、高温・高圧を安全に処理するための液体窒素冷却システムなど、多くの安全機能があります。また、4ポートの真空システムをはじめとする様々な測定機器に対応し、効率的な運用を実現しています。TELアルファ8S-Z拡散炉は、半導体デバイスの加工・加工に欠かせないツールです。その高度な温度制御、安全機能、多彩な用途により、現代の半導体産業に理想的なツールとなっています。
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