中古 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #293636590 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Zは、様々な半導体や光学プロセスで使用される拡散炉とその付属品です。半導体ウェーハなどの半導体デバイスに最大200°C〜1200°Cの低温で熱処理を行うことができます。TEL ALPHA 8SZの構造はループローディング装置、スプリットチューブ炉、温度調節器、排気システムを備えています。また、低酸素環境を含み、酸化物拡散を成功させることができます。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Zのループローディングユニットは、ウェーハの自動ロードとアンロードを効率的に行います。本機には特殊なエアハンドリング技術が搭載されており、炉内外への搬入時にウェーハを冷却することができます。スプリットチューブ炉はISO認証の拡散炉で、ウェハの上面と下面の両方を和らげることができます。温度調節器は拡散プロセスの望ましい温度を調整し、維持するのに使用される用具です。東京電子ALPHA 8 S Zは、熱処理の応用に加えて、他の活動を支援する機能を備えています。例えば、運転中に煙などの副産物を減らすための特別な排気資産を持っています。ALPHA 8 S Zには、in-situ thermogravimetric analysis （TGA）機能も搭載しており、減量のリアルタイム測定が可能です。さらに、温度、酸素、オゾン濃度を一定・安定させる大気制御の自動化モデルを8SZしています。これは、異なる拡散プロセスにわたって所望のプロセス条件を確保するのに役立ちます。この拡散炉には4つの電源が搭載されており、設置面積が小さく、様々な用途に適しています。全体として、Alpha 8S-Zは信頼性が高く効率的な拡散炉であり、半導体プロセスを迅速、効率的、効果的にするために必要なすべてのアクセサリが付属しています。この拡散炉は、商業および産業用途に最適です。